Hãy ngừng việc sử dụng các bóng đèn hồng ngoại công suất cao trong buồng chân không dùng để gia nhiệt, và thay vào đó hãy sử dụng chúng để gia nhiệt cho các tấm wafer. Nếu bạn từng sử dụng các bóng đèn hồng ngoại công suất cao trong buồng chân không dùng cho ngành semiconductors, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn mà nó gây ra. Đó là cuộc chiến không ngừng nghỉ để kiểm soát lượng nhiệt phát sinh.
Vấn đề là các bóng đèn thông thường phát ra năng lượng theo mọi hướng – tức là 360 độ. Trong môi trường chân không, phần lớn nhiệt lượng này không thể tiếp xúc được với các tấm wafer; thay vào đó, nó lại tác động trực tiếp lên các bức tường của buồng chân không. Điều này khiến bạn lãng phí rất nhiều năng lượng, và bề mặt thiết bị cũng trở nên quá nóng, có thể gây bỏng cho người vận hành.
Giải pháp là sử dụng phương pháp gia nhiệt có hướng. Thay vì chỉ sử dụng ống thạch anh thông thường, chúng ta sử dụng các lớp phủ phản xạ hoặc các tấm phản xạ hình parabol để định hướng năng lượng hồng ngoại đến đúng vị trí cần gia nhiệt. Điều này giúp tập trung năng lượng vào mục tiêu cần thiết.
Đây là một thay đổi đơn giản, nhưng nó mang lại hiệu quả lớn. Bạn không cần phải cố gắng gia nhiệt toàn bộ máy nữa, mà chỉ cần tập trung vào phần cần gia nhiệt thôi.
Tuy nhiên, bạn không thể đơn giản sử dụng bất kỳ loại bóng đèn nào. Chúng tôi thường sử dụng các bóng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn. Chúng hoạt động tốt hơn trong môi trường chân không, và có khả năng tương tác tốt hơn với các vật liệu semiconductors.
Nhưng cần lưu ý: hãy kiểm soát tốt mật độ năng lượng. Vì các bóng đèn này tập trung nhiệt lượng, chúng có thể tạo ra những điểm nóng nguy hiểm nếu điểm tập trung năng lượng không chính xác. Để tránh tình trạng này, tôi khuyên nên sử dụng bộ điều khiển PID kết hợp với máy đo nhiệt độ phản ứng nhanh. Nếu bạn sử dụng quá nhiều năng lượng mà không điều chỉnh chính xác, bạn có thể làm cháy các mép của các tấm wafer.
Điều tuyệt vời nhất là sau khi áp dụng phương pháp này, bạn có thể ngừng sử dụng những bộ tản nhiệt khổng lồ trên các bức tường của buồng chân không. Bề mặt thiết bị sẽ giữ được nhiệt độ ổn định. Các nhân viên vận hành cũng không còn phải lo lắng về nguy cơ bị bỏng khi bảo trì thiết bị. Ngoài ra, bạn còn có thể tăng hiệu suất sản xuất mà không cần phải gọi thợ sửa chữa để nâng cấp hệ thống làm mát của thiết bị. Thật tuyệt vời!