Hãy ngăn chặn tình trạng vỡ bóng đèn: Giữ cho quy trình xử lý wafer được sạch sẽ
Nếu bạn từng gặp phải tình trạng bóng đèn nổ trong quá trình hoạt động ở mức công suất cao, bạn sẽ hiểu rõ cảm giác đó như thế nào. Đó không chỉ là sự phiền toái do máy phải ngừng hoạt động, mà còn là nỗi lo lớn khi toàn bộ số wafer được sản xuất ra bị hỏng do khu vực làm việc trở nên đầy mảnh thủy tinh và chất hóa học. Thật là một tình trạng hỗn loạn, và chi phí để khắc phục nó cũng rất lớn.
Chúng tôi đã chế tạo những bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone nhằm ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Về ozone
Điểm đáng lo ngại với các bóng đèn sóng ngắn thông thường là chúng phát ra các bước sóng dưới 200nm. Điều này có vẻ như là một chi tiết kỹ thuật, nhưng trong thực tế, những bước sóng này sẽ tương tác với oxy trong không khí, tạo thành ozone. Trong môi trường phòng sạch, ozone là một thứ cực kỳ nguy hiểm; nó có tính ăn mòn, phá hủy các vật liệu hữu cơ và gây ảnh hưởng đến quy trình chiết xuất hóa chất. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng lớp vỏ thạch anh đặc biệt, giúp lọc bỏ những bước sóng UV. Bạn vẫn có thể nhận được nhiệt độ cần thiết để quá trình xử lý diễn ra nhanh chóng, nhưng lại không gặp phải những tác động tiêu cực từ hóa chất.
Tại sao bóng đèn lại bị vỡ
Quá trình hoạt động ở mức công suất cao gây áp lực lớn lên thạch anh. Áp lực nhiệt này khiến sợi dây tóc trong bóng đèn bị thoái hóa, dẫn đến việc bóng đèn bị vỡ. Để ngăn chặn điều này, chúng tôi sử dụng khí halogen có độ tinh khiết cao. Khí này giúp giữ cho sợi dây tóc ổn định, tránh tình trạng bị hao mòn sớm.
Ngoài ra, còn có vấn đề liên quan đến các bộ phận kín nước của bóng đèn. Khi bóng đèn hoạt động ở mức công suất cao, sự chênh lệch nhiệt độ giữa trung tâm bóng đèn và các đầu bóng đèn rất lớn. Nếu các bộ phận kín nước yếu, nước sẽ bị rò rỉ vào bên trong bóng đèn. Chúng tôi đã gia cố các bộ phận kín nước này để giữ cho áp suất bên trong bóng đèn ổn định, ngay cả khi nhiệt độ tăng cao.
Một vài điều cần lưu ý
Không có bóng đèn nào là hoàn hảo cả. Do lớp lọc trong bóng đèn thạch anh không chứa ozone, nên công suất phát sáng của bóng đèn sẽ khác so với bóng đèn thạch anh thông thường. Bạn có thể cần tăng công suất đèn lên 2–5%, hoặc điều chỉnh thời gian hoạt động của đèn để đạt được nhiệt độ mong muốn.
Ngoài ra, hãy kiểm tra kỹ các quạt làm mát. Hãy đảm bảo rằng chúng có thể xử lý được lượng nhiệt sinh ra ở các đầu bóng đèn, nhằm tránh tình trạng các tiếp điểm điện bị hư hỏng.