Di bilik bersih kelas 1–100, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk mengganggu dimensi kritikal wafer tersebut, sehingga menyebabkan banyak wafer menjadi rosak. Oleh itu, pemanas yang digunakan dalam bilik bersih ini perlu mampu memberikan suhu yang stabil, tanpa menghasilkan zarah-zarah berbahaya atau menyebabkan perubahan suhu yang tidak diinginkan. Kami telah mencipta pemanas inframerah yang sesuai untuk tujuan ini, bukan sekadar alat tambahan.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Kami menggunakan elemen inframerah berfrekuensi rendah yang mempunyai masa tindak balas yang cepat serta kawalan spektrum yang tepat. Dengan cara ini, haba akan sampai terus ke wafer, bukan ke dinding bilik. Ini memastikan keseragaman suhu pada wafer pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan pemanasan, dan stabilitas suhu yang lebih baik, iaitu ±0.2°C ketika beban tinggi. Repeatabilitas suhu antara setiap kali pengoperasian juga kurang dari 0.3°C, jadi profil pemanasan tetap stabil.
Paket pemanas ini direka khusus untuk digunakan dalam bilik bersih: bahan-bahan yang digunakan tidak menghasilkan gas berbahaya, sambungan-sambungannya tertutup rapat, dan permukaannya boleh dibersihkan tanpa menimbulkan kontaminasi. Pengeluaran haba dikawal oleh relay berstatus solid-state, dengan pemantauan berterusan. Setiap unit pemanas juga disertakan dengan kurva kalibrasi yang boleh dijejaki.
Mengapa ia berkesan dalam proses pengeluaran:
Proses pemprosesan bahan fotoresist memerlukan kawalan suhu yang sangat tepat. Pemanas inframerah kami dapat memanaskan wafer dengan cepat, sambil memastikan suhu tetap stabil—sekaligus memendekkan masa pemanasan dan melindungi kualiti bahan fotoresist. Reka bentuk ini juga membantu mengurangkan penghasilan zarah-zarah berbahaya, sehingga tidak perlu mengeluarkan kos tambahan untuk kawalan suhu.
Haba hanya dialirkan ke tempat yang diperlukan, bukan ke udara di sekelilingnya, jadi penggunaan tenaga dapat dikurangkan. Dalam pengeluaran sebenar, sistem ini beroperasi 24/7 tanpa gangguan akibat masalah berkaitan suhu, dan penyelenggaraannya juga mudah diramalkan.
Apa yang perlu dipertimbangkan:
Proses pemasangan melibatkan penyesuaian antara antaramuka kawalan oven dengan sistem bekalan kuasa yang ada. Anda perlu menentukan voltan dan arus yang sesuai untuk memastikan operasi yang lancar. Proses penyesuaian PID juga memerlukan waktu yang singkat agar proses pemanasan berjalan dengan lancar.
Pemanas ini sangat sensitif terhadap kestabilan voltan. Pastikan bekalan kuasa tetap stabil agar tidak ada gangguan suhu. Selain itu, pemeriksaan pemanas perlu dilakukan berdasarkan waktu operasi, bukan waktu kalender, agar keseragaman suhu dapat dikekalkan.