클래스 100 청정실을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실에서 작업할 때, 난방이란 단순히 공간을 따뜻하게 하는 것만을 의미하지 않습니다. 그것은 미세한 입자들과의 싸움입니다.
반도체 제조 공장에서는 이 문제가 매우 치명적입니다. 아주 작은 양의 가스나 금속 조각이라도 있으면 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이를 막기 위해 우리는 고순도의 합성 석영과 테프론으로 절연된 전선을 사용합니다.
석영의 장점
적외선 램프에는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 석영은 가스가 새어나오지 않기 때문입니다. 일반 유리나 저급 재료는 열이 가해지면 가스가 새어나오는 경향이 있습니다. 이는 청정실에서는 큰 문제가 됩니다. 반면 합성 석영은 극한의 온도에서도 견고하게 유지되며, 미세한 파편들이 작업 공간으로 들어가는 것을 막아줍니다.
전선도 간과해서는 안 됩니다
난방 요소만이 모든 것을 결정하는 것은 아닙니다. 보통은 전선이 먼저 손상됩니다. 이러한 난방기에는 테프론(PTFE)으로 코팅된 전선을 사용합니다. 그 이유는 테프론이 열에 의해 연소되거나 손상되지 않기 때문입니다. 만약 일반 PVC 전선을 사용한다면, 그 외피가 녹아서 VOC가 공기 중으로 배출됩니다. 이는 좋지 않습니다. 테프론은 안정적이며, 설치할 때도 전선이 마찰되거나 손상되지 않도록 주의해서 연결해야 합니다.
단점들
물론 완벽한 것은 없습니다. 고순도 석영은 붕규산 유리보다 더 부서지기 쉽습니다. 그래서 그냥 평범한 장갑을 끼는 것은 안 됩니다. 먼지가 전혀 없는 장비를 사용해야 합니다. 또한 테프론 전선은 열에 강하지만, 구부릴 때는 주의해야 합니다. 만약 설치할 때 전선을 잘못 구부린다면 절연层가 손상될 수 있습니다. 천천히 조작해야 합니다.
실제 작동 방식
이러한 램프는 정확하고 짧은 파장의 적외선 에너지를 방출합니다. 이 방식의 장점은 기판을 직접 가열할 수 있다는 것입니다. 공기나 챔버 벽을 가열하는 데 에너지를 낭비하지 않습니다. 그래서 HVAC 시스템이 과도하게 작동하지 않으며, 미세한 입자들도 적절한 수준으로 유지됩니다.
속도도 매우 빠릅니다. 게다가 공간을 많이 차지하지 않아 반도체 제조 장비에도 쉽게 설치할 수 있습니다.