V prostředí určeném k litografii stačí během procesu zahřívání fotorezisty pohyb o půl stupně, aby došlo ke změně kritických rozměrů a bylo zničeno velké množství destiček. V čisté místnosti třídy 1–100 musí ohřívač poskytovat stabilní teplotu bez uvolňování částic nebo vzniku odchylek. Naše inkoustové ohřívače v čistých místnostech jsou navrženy tak, aby sloužily jako „základna“ tohoto procesu, a ne jen jako doplňkové zařízení.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme krátkovlnné infračervené prvky s rychlou reakcí a přesnou spektrální kontrolou. Díky tomu dostávají destičky teplo přímo – nikoliv ze stěn komory. To zajišťuje rovnoměrnost teploty na úrovni destiček v rozsahu ±0,1 °C v celé oblasti zahřívání. Stabilita teploty je ještě lepší – více než ±0,2 °C za provozu. Opakovatelnost teploty mezi jednotlivými cykly zůstává pod 0,3 °C, takže parametry zahřívání zůstávají konstantní v rámci celé série destiček.
Ohřívač je vhodný pro použití v čistých místnostech: používají se materiály s nízkou mírou uvolňování látek, utěsněné spoje a vnější povrch, který lze snadno očistit bez ukládání nečistot. Výstupní napětí je řízeno pomocí tranzistorových relé s řízením v uzavřené smyčce. Každý jednotka je dodávána s kalibrační křivkou pro sledování parametrů.
Proč to funguje v průmyslové výrobě
Při zpracování fotorezistu je důležitá přesná regulace teploty. Naše infračervené ohřívače rychle zahřejí destičku a poté ji udrží na této teplotě – čímž se zkracuje doba zahřívání a zároveň se chrání profil fotorezistu. Konstrukce ohřívačů minimalizuje vznik částic, takže nemusíte platit za další kontroly teploty.
Teplo putuje tam, kam je potřeba – ne do okolního vzduchu – takže se snižuje spotřeba energie. V reálné výrobě systém pracuje 24/7 bez neplánovaných přestávek kvůli problémům s teplotní regulací. Údržba je tak předvídatelná, nikoliv reaktivní.
Na co je potřeba se připravit
Instalace spočívá v přizpůsobení rozhraní ovladače trouby a ověření napětí a proudového výkonu vzhledem k existujícímu napájecímu zařízení. Očekávejte krátký čas na nastavení parametrů PID pro konkrétní typ destiček a tepelné zatížení.
Tyto ohřívače jsou citlivé na stabilitu napětí v síti – udržujte napájení stabilní, aby se transienty neprojevovaly jako teplotní rušení. Kontrolu prvků ohřívače plánujte podle času provozu, nikoliv kalendářního času – tak bude rovnoměrnost teploty zachována tam, kde ji proces potřebuje.