V provozu výroby čipů si linka určená k zpracování polovodičových destiček nemůže dovolit žádné výkyvy teploty během procesů zpracování fotorezistů nebo jejich sušení. Výkyv o 1 °C během procesu měkkého nebo tvrdého sušení může změnit kritické rozměry destiček. Veškerá vlhkost, která zůstane po čištění, také negativně ovlivňuje kvalitu výrobku. Proto jsme pro tyto procesní kroky vyvinuli infračervený ohřívač – tam je totiž teplotní kontrola naprosto nezbytná.
Co je technicky důležité Používáme krátkovlnné infračervené záření, díky kterému lze destičku rychle a bez kontaktu ohřát s rovností teploty na úrovni ±0,1 °C. Masy kvartzu a halogenu vydávají energii přímo do fotorezistu a podkladu, takže teplotní odchylky zůstávají nízké a profil sušení je stabilní. Teplotu lze snadno nastavit a senzor ji udržuje konstantní po celé době zpracování – tloušťka vrstvy a zbytky materiálu zůstávají v požadovaných mezích.
Ohřívač je navržen pro prostředí třídy 1–100: žádné vznikání částic, materiály s nízkou úrovní uvolňování plynů a hladký povrch, který lze snadno vyčistit. Funguje 24/7 s předvídatelnými časy údržby, takže neočekávané výpadky nejsou problémem.
Proč se hodí do tohoto procesu Tento ohřívač řeší skutečné problémy při sušení destiček, měkkém sušení fotorezistů a následujících krocích jeho zpracování. Rychlé zahřátí zkracuje dobu cyklu bez nadměrného zvyšování teploty. Stabilní teplota zase snižuje variabilitu fotorezistu a vznik nedokonalostí na okrajích destiček.
Spotřeba energie klesá, protože ohřívač se zapíná pouze tehdy, když je to potřeba, a jeho tepelná masa je nízká. Výsledkem je konzistentní tloušťka vrstvy, méně vad po čištění a proces, který funguje i při velkém objemu výroby. Výsledkem je vyšší výtěžnost první várky a méně odpadu – což přímo souvisí s kontrolou teploty, kterou lze ověřit.
Co je potřeba vědět Instalace spočívá v přizpůsobení rozhraní zařízení: vzory montáže od výrobce, typy konektorů a napětí musí odpovídat vaší platformě. Ohřívač funguje nejlépe, pokud je cesta pro záření volná a odrazivé povrchy jsou správně upraveny – jinak vzniknou „horké body“.
Je nutné pravidelně kalibrovat pyrometr a dodržovat plán výměny emitorů. Tím zajistíte rovnost teploty na úrovni ±0,1 °C a budete mít proces pod kontrolou.