Trong quá trình sấy phim phơi ảnh, chỉ cần có sự thay đổi về góc 0,5 độ trong quá trình này thôi cũng đủ để làm thay đổi kích thước của các chi tiết trên wafer, dẫn đến việc phải loại bỏ rất nhiều wafer hỏng. Trong phòng sạch loại Class 1–100, lò sấy cần phải duy trì nhiệt độ ổn định, mà không tạo ra bụi bẩn hay sự thay đổi nhiệt độ không mong muốn. Chúng tôi thiết kế các lò sấy trong phòng sạch sao cho chúng có khả năng duy trì nhiệt độ ổn định, chứ không phải chỉ đơn thuần là thiết bị phụ trợ.
Những yếu tố kỹ thuật quan trọng Chúng tôi sử dụng các bộ phận phát sóng hồng ngoại tia ngắn, có khả năng phản ứng nhanh và kiểm soát phổ ánh sáng chính xác. Nhờ đó, wafer và các vật liệu khác sẽ nhận được nhiệt trực tiếp, chứ không phải từ các bức tường của lò sấy. Điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên wafer ở mức ±0,1°C trong toàn bộ khu vực sấy, và độ ổn định của nhiệt độ khi hoạt động ở mức tốt hơn ±0,2°C. Độ lặp lại của nhiệt độ giữa các lần sấy cũng dưới 0,3°C, giúp đảm bảo rằng các thông số quá trình sấy vẫn ổn định.
Bộ phận sưởi được thiết kế để phù hợp với môi trường phòng sạch: sử dụng vật liệu ít sinh khí, các mối nối được niêm phong kín, và bề mặt bên ngoài có thể được lau chùi mà không gây ra sự tích tụ bụi bẩn. Nguồn điện được điều khiển bằng rơle trạng thái rắn, kèm theo hệ thống giám sát đóng vòng. Mỗi thiết bị đều được kèm theo đồ thị hiệu chuẩn để dễ dàng kiểm tra.
Tại sao chúng vẫn hoạt động tốt trong sản xuất Quá trình xử lý phim phơi ảnh đòi hỏi sự kiểm soát nhiệt độ chính xác. Các bộ phận sưởi hồng ngoại của chúng tôi giúp nâng nhiệt độ wafer lên nhanh chóng, sau đó duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó rút ngắn thời gian sấy mà vẫn bảo vệ được chất lượng phim phơi ảnh. Thiết kế này giúp giảm thiểu sự tạo ra bụi bẩn, do đó không cần phải chi phí thêm để kiểm soát nhiệt độ.
Nhiệt độ được phân bổ đúng nơi cần thiết, chứ không lan ra không khí xung quanh, giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Trong quá trình sản xuất thực tế, hệ thống hoạt động 24/7 mà không bị gián đoạn do lỗi nhiệt độ, và việc bảo trì cũng dễ dàng hơn.
Những điều bạn cần lưu ý Việc lắp đặt chỉ cần đảm bảo rằng giao diện điều khiển của lò sấy phù hợp với hệ thống hiện có, và điện áp, dòng điện cũng phải phù hợp. Bạn cần có thời gian để điều chỉnh các thông số PID sao cho phù hợp với khối lượng và tải nhiệt của wafer.
Các bộ phận sưởi này rất nhạy cảm với sự ổn định của điện áp đầu vào – vì vậy cần đảm bảo rằng nguồn điện ổn định, để tránh sự biến động nhiệt độ do sự thay đổi điện áp. Ngoài ra, cần lập kế hoạch kiểm tra các bộ phận này theo thời gian hoạt động, chứ không phải theo thời gian thực tế, nhằm đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ như mong muốn.