Як правильно підібрати відбивач для засушування підкладок у заводах з виробництва напівпровідників
Коли ви засушуєте підкладки на заводах з виробництва напівпровідників, ви маєте справу з небезпекою, пов’язаною з теплом. Одна помилка може призвести до деформації підкладок чи їх хімічного забруднення.
Саме тому ми використовуємо інфрачервоне опромінення для засушування. Цей метод дозволяє передавати енергію безпосередньо на поверхню підкладки. Немає необхідності використовувати гаряче повітря чи шкідливі розчинники. Це більш ефективний та екологічний спосіб, який відповідає стандартам „зеленої“ промисловості, спрямованим на зменшення відходів.
Чому відбивач насправді важливий
Інфрачервона лампа сама по собі є досить „хаотичним“ пристроєм – вона випромінює енергію в усіх напрямках. Якщо просто помістити лампу в корпус, значна частина енергії буде втрачена.
Ми вирішуємо цю проблему за допомогою відбивачів з високочистим алюмінієм чи золотим покриттям. Вони перехоплюють втрачену енергію та відбивають її назад на підкладку. Таким чином, потік тепла подвоюється. Ми налаштовуємо ці відбивачі так, щоб вони ефективно відбивали короткохвильове інфрачервоне випромінювання, що дозволяє енергії потрапляти на поверхню підкладки без пошкодження самої підкладки.
Як боротися з теплом
Лампи високої потужності стають дуже гарячими. Якщо відбивач не має ідеальної параболічної чи еліптичної форми, на поверхні кремнію можуть утворитися „гарячі точки“. А якщо кут нахилу неправильний, це призведе до нерівномірного засушування підкладок.
Це також боротьба з законами фізики. Якщо відбивач деформується під впливом тепла, фокус випромінювання змінюється. Усе стає хаотичним. Саме тому ми розробляємо відбивачі, які зберігають свою форму навіть у складних умовах.
Недоліки
Можна подумати, що чим більша відбивна здатність, тим краще, але це не так просто. Ці високоякісні покриття є крихкими. Якщо намагатися очистити їх за допомогою абразивних речовин, відбивне покриття буде пошкоджене. Потрібно бути обережними та дотримуватися суворих правил чищення, щоб зберегти якісне покриття.
Ще одна порада: чим більша щільність тепла, тим більше працюють джерела живлення та вентилятори для охолодження. Обов’язково перевірте систему вентиляції. Якщо вентилятори не справляються з цим завданням, ви просто створюєте дуже дорогу „піч“.