На виробничій лінії, як тільки пластинка виходить з процедури остаточного промивання, починається процес сушіння. Будь-яка затримка у цьому процесі призводить до появи дефектів на поверхні пластинки – крапель на краях та інших частинок, які потім потрапляють на пластинку під час процедур літографії та етчингу. Наші лампи для сушіння пластинок розроблені так, щоб усунути ці проблеми. Вони забезпечують точний контроль температури прямо під час процесу сушіння, тож параметри фоторезисту залишаються стабільними з однієї зміни на іншу.
Це те, що насправді має значення. Ми використовуємо джерела коротко- та середньохвильового інфрачервоного світла в кварцових корпусах, які ідеально підходять для поглинання світла водою та розчинниками фоторезисту. Рівномірність температури на поверхні пластинки становить ±0,1°C, а значення температури залишається стабільним протягом усього процесу сушіння. Сумісність з чистими приміщеннями класу 1–100 є невід’ємною частиною конструкції – це досягається за рахунок використання матеріалів з низьким рівнем випаровування, герметичних корпусів та системи поліпшеного повітрообміну для зменшення кількості частинок. Робоча якість лампи залишається стабільною протягом 5 000 годин, з відхиленнями менше 5%. Інтегровані процедури калібрування та системи безпеки забезпечують дотримання температурних параметрів під час процесу сушіння. Конструкція лампи та її відбивачів дозволяє зменшити споживання енергії.
Вам потрібна сушка, яка буде працювати ефективно, без необхідності постійного контролю температури чи виправлення відхилень. Ці лампи скорочують час сушіння та зменшують кількість бракованих продуктів, забезпечуючи стабільність температурного профілю – від однієї пластинки до іншої, від однієї партії до іншої, щодня. Процес сушіння стає більш передбачуваним, коли зникає градієнт температури від країв до центру пластинки. Це призводить до більш стабільної товщини фоторезисту, меншої кількості дефектів та меншої кількості необхідних правок під час обробки. Споживання енергії зменшується, оскільки лампа швидко досягає заданої температури та зберігає її стабільно, з мінімальними відхиленнями.
Підбір параметрів лампи під вашу пластинку та умови її розташування залежить від щільності потужності, спектральної характеристики та геометрії кріплення. Ми розробляємо систему відповідно до діаметра пластинки, часу сушіння та класу чистого приміщення. Також ми надаємо інтерфейси для підключення до стандартних систем PLC та систем безпеки. Очікуйте контрольованого процесу нагрівання та охолодження – швидкість зміни температури має бути налаштована так, щоб не завдати шкоди лампі та пластинці. Переконайтеся, що системи відведення повітря та охолодження відповідають вимогам корпусу лампи. Якщо інтеграція здійснена правильно, пристрій може працювати 24/7 з мінімальними періодами технічного обслуговування та перерв у роботі.