На поверхні пластини при процедурі теплової обробки відхилення температури на рівні 0,2°C є серйозною проблемою – це призводить до зниження якості продукції. Фоточутлива смола фіксує свої критичні розміри в перші хвилини теплової обробки; цей етап також контролює процес видалення розчинників, напругу у шарі фоточутливої смоли та форму країв пластини. Якщо температурна однорідність порушується, це призводить до появи дефектів на поверхні пластини, що може призвести до відхилень у параметрах продукції та до знищення всієї партії продукції.
Що є важливим у цьому процесі?
Ми використовуємо лампи для теплової обробки, які базуються на технології ближнього інфрачервоного випромінювання. Температурне поле залишається однорідним навіть на рівні підміліметрових масштабів, а точність виконання процедури є високою. Профіль температури, створений за допомогою відбивача, відповідає геометрії пластини, а не лише показникам термостата. На пластині діаметром 300 мм температура у зоні обробки контролюється дуже точно, що дозволяє зберегти стабільні параметри температури фоточутливої смоли та захистити тепловий баланс всього шару смоли. Система призначена для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та ущільнювачі обрані так, щоб під час обробки не виникало жодних частинок.
Чому цей метод є ефективним у промисловості?
У заводах необхідно, щоб процедура теплової обробки була стабільною та повторюваною з місяця в місяць, з партії в партію. Ця лампа забезпечує стабільність процесу навіть під час безперервної роботи 24/7. Це дозволяє уникнути зайвих операцій з переробки продукції, забезпечує стабільність параметрів температури та передбачуваний процес випаровування розчинників на поверхні пластини – без необхідності постійно коригувати параметри печі чи повторно перевіряти ефективність процедури після технічного обслуговування.
Практичні деталі, які не можна ігнорувати
Технологія ближнього інфрачервоного випромінювання є швидкою та ефективною, але вимагає точного оптичного вирівнювання та контрольованого середовища. Лампа повинна відповідати конкретним вимогам фоточутливої смоли та умовам ззаду пластини; інакше різниця в відбивності може спричинити нерівномірність температури на поверхні пластини. Спочатку потрібно провести коротку процедуру обробки з використанням поточної фоточутливої смоли, а потім закріпити параметри процедури. Після цього процес стає стабільним, а ваш літографічний обладнання отримує необхідну теплову стабільність.