Правильный выбор рефлектора для процесса отверждения пластин
При процессе отверждения пластин в производствах по производству полупроводников вы имеете дело с опасными факторами, связанными с теплом. Один неверный шаг может привести к деформации пластины или её химическому загрязнению.
Поэтому мы используем инфракрасное излучение для отверждения пластин. Это позволяет направлять энергию непосредственно на саму поверхность пластины. Не нужно возиться с горячим воздухом или различными растворителями. Такой способ более экологичен и эффективен. К тому же он соответствует принципам «зеленых» технологий, направленным на сокращение отходов.
Почему рефлектор так важен
Сама лампа инфракрасного излучения излучает энергию во все стороны. Если просто поместить лампу в корпус, половина энергии будет потеряна.
Чтобы этого избежать, мы используем рефлекторы из высокочистого алюминия или покрытые золотом. Они перехватывают потерянную энергию и направляют её обратно на пластину. Таким образом, интенсивность теплового потока удваивается. Мы подбираем рефлекторы так, чтобы они работали с коротковолновым инфракрасным излучением, чтобы тепло достигало поверхности пластины без повреждения самой пластины.
Проблемы, связанные с теплом
Лампы высокой мощности становятся очень горячими. Если рефлектор не имеет идеальной параболической или эллиптической формы, на поверхности кремния могут возникнуть «горячие точки». А если угол наклона рефлектора некорректен, это приведет к неравномерному отверждению пластины и порче всей партии продукции.
Кроме того, существуют физические ограничения. Если рефлектор деформируется под действием тепла, фокусировочная точка смещается. Все это приводит к ошибкам в процессе отверждения. Поэтому мы создаем рефлекторы, которые сохраняют свою форму даже при высоких температурах.
Недостатки
Казалось бы, чем выше коэффициент отражения, тем лучше. Но это не так просто. Высококачественные покрытия очень хрупкие. Если пытаться очистить их с помощью абразивных веществ, рефлектирующий слой может быть поврежден. Необходимо соблюдать строгие правила очистки, чтобы сохранить блестящую поверхность рефлектора.
Еще один совет: чем выше плотность тепла, тем больше нагрузка на источник питания и вентиляторы. Обязательно проверьте систему вентиляции. Если вентиляторы не справляются с задачей, вы просто создаете очень дорогую «печь».