Как обеспечить полную чистоту при сушке пластин для МЭМС-датчиков
При сушке пластин для МЭМС-датчиков тепло – это лишь половина решения проблемы. Настоящей проблемой является выделение микрочастиц. В помещении класса чистоты 100 даже крошечная частица старого филамента или кусочек клея может разрушить целую партию датчиков за считаные секунды. Это раздражает, дорого, и при этом можно избежать этой проблемы.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они не способствуют появлению загрязнений.
Почему кварц так эффективен
Большинство нагревателей имеют металлические или керамические элементы. Проблема в том, что со временем эти материалы начинают выделять микрочастицы.
Наши кварцевые лампы работают иначе. Они используют радиационную передачу тепла, то есть тепло передается напрямую от филамента на пластину. Нет никаких посредников, которые могли бы вызвать загрязнение датчиков. Мы используем кварц высокой чистоты, чтобы стекло не разрушалось и не выделяло газы, даже при высоких температурах.
Компромисс: мощность vs. тепло
Чтобы достичь быстрого нагрева, необходимо использовать большую мощность в очень компактном размере. Это работает, но имеет свои недостатки: поверхность лампы становится чрезвычайно горячей. Если системы охлаждения не справляются с задачей, это может привести к перегреву корпуса устройства. Перед тем, как подключать лампы в компактный корпус, обязательно проверьте поток воздуха. Это поможет избежать проблем в будущем.
Упрощение процесса использования
Мы знаем, что простои – это враг. Поэтому мы сделали эти лампы удобными в замене. Мы используем стандартные разъемы, поэтому, когда лампа выходит из строя, ее можно просто заменить на новую. Не нужно тратить часы на перекалибровку всей системы.
Мы также обрабатываем кварц, чтобы предотвратить появление вмятин на его поверхности. Это позволяет сохранять стабильную температуру на всей пластине, что очень важно для тонких МЭМС-мембран, которые могут деформироваться под действием высоких температур.
Еще один совет: следите за чистотой стекла. Если на кварце останутся отпечатки пальцев или жир с кожи, они въедут в стекло. Тогда возникнет постоянная зона низкой температуры, и придется заменить лампу. Используйте перчатки и сохраняйте стекло в чистоте – тогда все будет в порядке.