Omgaan met vervuiling van wafers bij hoge belastingen tijdens het verhitten
In een半导体fabriek is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand – het gaat ook om de rommel die ontstaat. Wanneer het kwartsomhulsel onder hoge belasting breekt, vallen er scherven en onzuiverheden op de wafers terecht.
Daarom hebben we onze UHP-verwarmingslampen ontworpen. We wilden voorkomen dat deze secundaire vervuiling überhaupt zou optreden.
Waarom lampen eigenlijk falen
De meeste lampen gaan kapot door thermische schokken of door lokale hittepunten. Om dit te voorkomen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Hierdoor blijft de thermische uitzetting gelijkmatig, zodat het glas niet meteen breekt zodra de stroomsterkte toeneemt.
Door het kwarts zuiver te houden, vermijden we die kleine microscopische oneffenheden. Dit zijn vaak de ‘zwakke punten’ waar onder hoge spanningen scheuren kunnen ontstaan.
Het behouden van een schone (en veilige) omgeving
We rekenen niet alleen op het beste resultaat; we hebben ook een plan om te voorkomen dat er deeltjes op de wafers terechtkomen. Onze UHP-lampen hebben versterkte einddichtingen en coatingen die het halogencircuit stabiel houden.
Maar hier komt het: het kwarts mag niet al het zware werk doen. We raden aan om deze lampen te combineren met een extra kwartsomhulsel of een beschermingslaag. Denk erbij als een soort verzekering: als de gloeidraad kapotgaat en de lamp breekt, vangt de beschermingslaag de brokstukken op. Hierdoor blijft je vacuümkamer schoon en hoef je geen hele lading wafers weg te gooien. Dat maakt het werk een stuk gemakkelijker.
De nadelen die je moet kennen
Hoge-dichtheid UHP-lampen zijn ideaal voor snelle verhoging van de temperatuur, wat nodig is voor nauwkeurige verwerking. Maar zo’n hoge temperatuur oplevert veel druk op de voedingsbronnen. Zorg ervoor dat je PID-regelaars goed zijn afgesteld. Als er een plotselinge stijging van de stroomsterkte optreedt of als de temperatuur zelfs maar een paar graden te hoog wordt, verkort je daarmee de levensduur van de lampen.
Een laatste tip: deze lampen zijn bedoeld voor omgevingen met hoge belastingen, maar ze worden erg heet. Controleer goed of je koelsystemen in staat zijn om de hitte af te voeren. Je wilt immers niet te maken krijgen met gesmolten connectors.