반도체 제조 공장에서 탄소 배출을 줄이는 방법은 바로 하우징에 있습니다.
현재 모든 반도체 제조 공장들은 넷-제로 목표를 달성하기 위해 애쓰고 있습니다. 가장 간단한 해결책은 구식의 저항식 난방 시스템 대신 정밀한 단파 적외선 시스템을 사용하는 것입니다. 하지만 문제는, 램프 자체가 전체 시스템의 절반에 불과하다는 것입니다.
진짜 핵심은 스테인리스 스틸로 만들어진 하우징에 있습니다. 만약 하우징의 제작이 제대로 이루어지지 않으면, 에너지가 낭비될 뿐입니다.
열 누출을 막아야 합니다.
탄소 배출을 줄이려면 열이 낭비되는 것을 막아야 합니다. 그게 전부입니다.
저희는 열 변화가 심한 환경에서도 견딜 수 있도록 고품질의 스테인리스 스틸을 사용하여 하우징을 제작합니다. 만약 하우징이 비틀리거나 변형된다면 문제가 생깁니다. 제대로 만들어지지 않은 하우징은 적외선을 클린룸 안으로 새어 나가게 하므로, HVAC 시스템이 과도하게 작동하게 되고 에너지 비용도 급증합니다.
그래서 저희는 정밀한 굽힘 공정과 TIG 용접을 사용합니다. 완벽한 밀폐성이 필요합니다. 열이 웨이퍼에 집중되도록 해야지, 방 전체가 뜨거워지는 것을 막아야 합니다.
반사의 비밀
저희는 그냥 아무 스틸 판을 사용하는 것이 아니라, 반사율을 최적화하기 위해 내부 구조에 세심한 주의를 기울입니다.
적외선을 더 효과적으로 집중시킴으로써, 램프의 전력 소모를 줄일 수 있습니다. 그러면서도 웨이퍼의 표면 온도는 그대로 유지됩니다. 동일한 생산량을 유지하면서도 에너지 소비는 줄어듭니다. 이건 일석이조입니다.
균형을 맞추는 것이 중요합니다.
물론, 타협점도 있습니다.
굵은 스테인리스 스틸은 열용량이 크기 때문에, 시스템이 온도에 도달하는 데 시간이 더 걸립니다.
벽의 두께도 중요합니다. 너무 얇으면 하우징이 진동하거나 열이 새어 나갑니다. 너무 두꺼우면 반응 속도가 느려집니다. 적절한 균형점을 찾아야 합니다.
실제 환경에서도 잘 작동하도록 설계됩니다.
저희는 이 하우징들을 기존의 비효율적인 난방 장치를 대체할 수 있도록 설계했습니다.
고밀도 출력을 위해 전선을 연결하여 열이 기판 전체에 고르게 퍼지도록 합니다. 만약 공차가 잘못되면 열이 집중되어 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
아무도 하우징의 제작이 잘못되어 웨이퍼를 버리고 싶어하지 않습니다.