なぜ半導体製造において、熱風を使わずに赤外線加熱を採用するのか？ 対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェハーを加熱します。これは非常に緩やかなプロセスです。ディーププロセッシングの世界では、このような遅れは単なる無駄な時間に過ぎません。 だからこそ、私...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温風を当てるという単純な工程ではありません。これは、寸法精度を保つための重要な工程なのです。ソフトベイクやハードベイクにおいて2℃のわずかな温度変動でも、重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。その結果、リソグラフィースキャナーが異常を...