
Detenga las “lluvias de vidrio”: mantenga limpia la zona de procesamiento de obleas
Si alguna vez ha ocurrido que una lámpara se rompiera durante un proceso de alta carga, sabrá lo molesto que es. No solo es un problema de tiempo perdido, sino también el hecho de tener que desechar todo un lote de obleas, ya que el área de trabajo queda cubierta de fragmentos de vidrio y sustancias químicas. Es un desastre… un desastre enorme y costoso.
Hemos diseñado nuestras lámparas infrarrojas sin óxido de azufre precisamente para evitar que esto suceda.
El problema con el óxido de azufre
Las lámparas de onda corta convencionales emiten longitudes de onda inferiores a 200 nm. Parece algo técnico, pero en la práctica, esas longitudes de onda afectan al oxígeno del aire y lo convierten en óxido de azufre. En una sala limpia, el óxido de azufre es un verdadero problema: es corrosivo, daña los materiales orgánicos y interfiere con el proceso de deposición por vapor químico. Para resolver este problema, utilizamos un revestimiento de cuarzo especial que funciona como filtro, bloqueando esas longitudes de onda. De esta manera, se mantiene el calor necesario para un curado rápido, pero sin los efectos negativos de las sustancias químicas.
Por qué se rompen las lámparas
Los ciclos de alta carga son muy duros para el cuarzo. La tensión térmica es intensa. La mayoría de las lámparas fallan porque el filamento se evapora, se debilita y se forman puntos calientes que eventualmente causan su ruptura. Para evitar esto, utilizamos gas halógeno de alta pureza. Este gas mantiene el filamento estable, evitando así su deterioro prematuro.
Además, existen los sellos que protegen las lámparas. Cuando la lámpara funciona a máxima potencia, la diferencia de temperatura entre el centro de la lámpara y sus extremos es enorme. Si el sello es débil, allí es donde comienza la fuga. Hemos reforzado esos sellos para que puedan resistir esa expansión, manteniendo así la presión interna constante, incluso cuando las condiciones son extremas.
Algunos consejos importantes
Ninguna lámpara es invulnerable. Debido al revestimiento de cuarzo sin óxido de azufre, la luz emitida es ligeramente diferente a la de un cuarzo ordinario. Es posible que sea necesario aumentar la potencia en un 2-5%, o ajustar los tiempos de funcionamiento para alcanzar la temperatura deseada.
También hay un consejo importante: revise cuidadosamente sus ventiladores de enfriamiento. Asegúrese de que puedan manejar la cantidad de calor generada en los extremos de la lámpara, para evitar daños en sus contactos eléctricos.