লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ফটোরেসিস্টকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় রাখার সময় অর্ধ-ডিগ্রির মতো হেলে যাওয়াই যথেষ্ট; এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনে পরিবর্তন ঘটে এবং অনেক ওয়েফার নষ্ট হয়ে যায়। ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে, হিটারটি কোনো ধরনের কণা নির্গত না করে এবং তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখতে হয়। আমরা আমাদের ক্লিনরুম ওভেনের জন্য ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করেছি; এগুলো এই প্রক্রিয়ার জন্য অপরিহার্য, অতিরিক্ত উপাদান নয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল ও নির্ভুল স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণসহ শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি; ফলে ওয়েফার ও ক্যারিয়ারটি সরাসরি তাপ গ্রহণ করে—চেম্বারের দেয়ালগুলো থেকে নয়। এর ফলে বেকিং জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর লোড থাকাকালীন এটা ±0.2°C এর মধ্যে থাকে। প্রতিবার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার ফলে তাপমাত্রা ±0.3°C এর মধ্যে থাকে; ফলে সব ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে।
হিটারটি ক্লিনরুম-উপযোগী: কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান, সিলড জয়েন্ট, এবং বাইরের পৃষ্ঠটি পরিষ্কার করা যায়—ফলে কোনো দূষণ জমে না। হিটারটি সলিড-স্টেট রিলে দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয়; প্রতিটি ইউনিটে ক্যালিব্রেশন কার্ভ থাকে।
কেন এটা উৎপাদনে কার্যকর?
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপ নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। আমাদের ইনফ্রারেড হিটারগুলো ওয়েফারকে দ্রুত উচ্চ তাপমাত্রায় নিয়ে যায়; ফলে বেকিং প্রক্রিয়া সংক্ষিপ্ত হয় এবং রেসিস্ট প্রোফাইলটি সংরক্ষিত থাকে। এই ডিজাইনে কণা উৎপন্ন হয় না; ফলে উৎপাদন কার্যক্রমে কোনো ব্যাঘাত ঘটে না। তাপ শুধুমাত্র প্রয়োজনীয় জায়গায় যায়—চারপাশের বাতাসে নয়; ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়। বাস্তব উৎপাদনে সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজ করে; তাপীয় সমস্যার কারণে কোনো বন্ধ হয় না। রক্ষণাবেক্ষণও সহজ হয়।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় ওভেন কন্ট্রোলারের ইন্টারফেস মেলানো প্রয়োজন; আর বিদ্যুৎ ভোল্টেজ ও অ্যাম্পিয়ার যাতে বর্তমান ফিডারের সাথে মেলে সেটা নিশ্চিত করতে হবে। PID লুপটি ঠিক করার জন্য দ্রুত কমিশনিং প্রয়োজন। এই হিটারগুলো লাইন ভোল্টেজের স্থিতিশীলতার উপর নির্ভরশীল; তাই ভোল্টেজ স্থিতিশীল রাখতে হবে। আর ইউনিটগুলোর নিরীক্ষা ক্যালেন্ডার অনুসারে নয়, বরং অপারেশন ঘণ্টা অনুসারে করতে হবে; ফলে প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজনীয় স্থানে তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে।