ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি তো জানেনই—বেকিং তাপমাত্রায় ০.৫°C এর পরিবর্তনও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোকে ন্যানোমিটার পর্যন্ত পরিবর্তন করে দিতে পারে; ফলে ঘণ্টার পর ঘণ্টা ধরে চলা লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি নষ্ট হয়ে যায়। মিডিয়াম ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটারগুলো এই ধরনের পরিবর্তনগুলো ঘটার আগেই তা রোধ করে।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
মিডিয়াম ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটারগুলো শক্তি를 সরাসরি ফটোরেসিস্ট ও সাবস্ট্রেটে সরবরাহ করে—দ্রুত ও নিয়ন্ত্রিতভাবে। বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; লোড থাকলেও এটা ±০.২°C এর মধ্যেই থাকে। সিলিকন ও অন্যান্য ফিল্মগুলোর জন্য এমিসিভিটি ঠিক করা হয়; ফলে সফ্ট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলোর সময় কোনো সমস্যা হয় না।
হিটারটি ক্লিনরুম-উপযোগী; ISO ক্লাস ১–১০০ মানের জন্য উপযুক্ত। এর পৃষ্ঠগুলো ও সিলগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে প্রক্রিয়া চলাকালীন কোনো ধূলিকণা তৈরি না হয়। থার্মাল প্রফাইলটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে প্রতিটি ব্যাচেই একই তাপমাত্রা বজায় থাকে।
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় এটা কেন কার্যকর?
সফ্ট বেক প্রক্রিয়ায় দ্রবণটি বের করে ফেলা হয় এবং ফিল্মের চাপ নিয়ন্ত্রণ করা হয়। হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ফিল্মটির আঠালোতা ও ইটচ রেজিস্ট্যান্স বাড়ানো হয়। মিডিয়াম ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটারের কারণে এই প্রক্রিয়াগুলো নির্দিষ্ট তাপমাত্রার মধ্যেই সম্পন্ন হয়; ফলে লাইন-ওয়াইডথে কোনো অসমতা থাকে না, আর তাপমাত্রাজনিত ত্রুটিগুলোও দেখা দেয় না।
এর ফলে রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়, প্রথম প্রচেষ্টাতেই উৎপাদন বাড়ে, আর CD নিয়ন্ত্রণও ভালো থাকে। হিটিং প্রক্রিয়াটি লক্ষ্যভিত্তিক হওয়ায় শক্তির ব্যবহারও কমে যায়; ফলে ২৪/৭ কাজ করার সময়ও কোনো সমস্যা হয় না।
ইনস্টলেশনের সময় কী করতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় নির্ভুল অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট ও পরিষ্কার পাওয়ার সিস্টেম প্রয়োজন। ভোল্টেজ ও কানেক্টরগুলোকে হোস্ট টুলের সাথে মেলানো উচিত। মিডিয়াম ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটারগুলো দারুণ ইউনিফর্মিটি দেয়; কিন্তু হিটারটিকে ওয়েফারের আকার ও চাকের জ্যামিতির সাথে মেলানো উচিত।
ফিল্ম স্ট্যাকের জন্য এমিসিভিটি ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং পিরিয়ড দরকার। একবার এটা ঠিক হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে, আর রক্ষণাবেক্ষণের পরিমাণও কমে যায়।