ফ্যাব ফ্লোরে, ওয়েফার-লেভেল CSP লাইনগুলোতে ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়া বা শুকানোর সময় তাপমাত্রার পরিবর্তন সহ্য করা যায় না। সফট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ১°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনও ওয়েফারের আকারগুলোকে পরিবর্তন করে দেয়; আর পরিষ্কার করার পর যে আর্দ্রতা থেকে যায়, তা উৎপাদন ক্ষমতাকে কমিয়ে দেয়। এই কারণেই আমরা এই প্রক্রিয়াগুলোর জন্য ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি—কারণ এখানে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করি; এর ফলে ওয়েফারে দ্রুত, সংস্পর্শহীনভাবে তাপ পৌঁছায়, আর তাপমাত্রার ভিন্নতা থাকে ±0.1°C এর মধ্যে। কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন এমিটারগুলো শক্তি সরাসরি ফটোরেজিস্ট ও সাবস্ট্রেটে পাঠায়; ফলে তাপীয় বিলম্ব কম থাকে এবং বেকিং প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণে থাকে। আপনি তাপমাত্রা নির্ধারণ করলে, ক্লোজড-লুপ সেন্সরগুলো সেই তাপমাত্রা বজায় রাখে—ফলে ওয়েফারের আকার ও অন্যান্য বৈশিষ্ট্যগুলো নির্দিষ্ট মানের মধ্যেই থাকে।
এটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে—এখানে কোনো কণা তৈরি হয় না, কম গ্যাস নির্গত হয়, আর পৃষ্ঠটি এতটাই মসৃণ থাকে যে সহজেই পরিষ্কার করা যায়। এটি ২৪/৭ চালু থাকে, আর নির্দিষ্ট সময়ে রক্ষণাবেক্ষণ করা হয়; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ হয়ে যাওয়ার সমস্যা দেখা দেয় না।
কেন এটি প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত?
এই হিটারটি ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়া এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলোর সমস্যাগুলো সমাধান করে। দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি হওয়ার ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়; আর স্থিতিশীল তাপমাত্রার ফলে ফটোরেজিস্টের অবস্থা নিয়ন্ত্রণে থাকে। শক্তি ব্যবহারও কম হয়—কারণ এমিটারগুলো শুধুমাত্র প্রয়োজনীয় সময়েই চালু হয়, আর তাপীয় মাসও কম থাকে। ফলে ওয়েফারের পুরুত্ব স্থিতিশীল থাকে, পরিষ্কার করার পর কম ত্রুটি দেখা দেয়, আর উচ্চ পরিমাণে ওয়েফার স্থানান্তর করার সময়ও প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে। ফলে প্রথমবারেই উচ্চ মানের উৎপাদন হয়, আর বর্জ্যও কম হয়—এটা সরাসরি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের উপর নির্ভর করে।
আপনাকে কী জানা দরকার?
ইনস্টলেশনের জন্য টুলগুলোর ইন্টারফেসগুলো মেলানো দরকার—OEM মাউন্টিং প্যাটার্ন, কানেক্টরের ধরন ও ভোল্টেজ আপনার প্ল্যাটফর্মের সাথে মেলে যেতে হবে। হিটারটি সর্বোত্তমভাবে কাজ করে যখন দৃষ্টিপথটি স্বচ্ছ থাকে এবং প্রতিফলনশীল পৃষ্ঠগুলো ঠিকমতো নিয়ন্ত্রণ করা হয়—অন্যথায় হট স্পট দেখা দেয়। নিয়মিতভাবে পাইরোমিটার ক্যালিব্রেট করা এবং এমিটারগুলো নির্ধারিত সময়ে প্রতিস্থাপন করা দরকার। এটা করলেই ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যাবে, আর প্রক্রিয়াটিও নিয়ন্ত্রণে থাকবে।