توقفوا عن تسخين غرفة الفراغ، وابدأوا بتسخين الرقاقات فقط.
إذا كنتم قد استخدمتم مصابيح ذات طاقة عالية في غرف الفراغ المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات، فأنتم تعرفون مدى الصعوبة التي ينطوي عليها ذلك. إنها معركة مستمرة ضد الحرارة الزائدة.
المشكلة أن المصابيح العادية تنشر الطاقة في جميع الاتجاهات، أي في 360 درجة. في بيئة الفراغ، لا تصل معظم هذه الحرارة إلى الرقاقات، بل تصطدم بجدران الغرفة. وهذا يعني إهدار كمية هائلة من الطاقة، بالإضافة إلى أن الجزء الخارجي من الجهاز يصبح ساخنًا لدرجة أنه قد يتسبب في حروق للأشخاص.
الحل هو التسخين الموجه.
بدلاً من استخدام أنبوب كوارتز عادي، نستخدم طبقات عاكسة أو مرايا بارابولية لتوجيه طاقة الأشعة تحت الحمراء إلى المكان المناسب. بهذه الطريقة، نقلل من انتشار الحرارة.
إنه تغيير بسيط، لكنه يغير كل شيء. لم يعد عليكم محاولة تسخين الجهاز بأكمله، بل يكفي التركيز على الجزء المطلوب تسخينه فقط.
لا يمكن استخدام أي مصباح في هذه الحالة. في العادة، نستخدم مصابيح أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة، لأنها تعمل بشكل أفضل في بيئات الفراغ، وتتفاعل بشكل أفضل مع مواد أشباه الموصلات.
لكن يجب الانتباه إلى كثافة الطاقة المستخدمة. فالمصابيح التي تركز الحرارة قد تسبب نقاط ساخنة خطيرة إذا كان موضع التركيز غير دقيق، حتى لو كان الخطأ بضعة ملليمترات فقط. لتجنب ذلك، أوصي باستخدام جهاز تحكم PID مع جهاز قياس الحرارة سريع الاستجابة. إذا زدتم من الطاقة المستخدمة دون تحقيق توازن دقيق، فقد يتسبب ذلك في تلف حواف الرقاقات.
أفضل شيء هو أنكم بمجرد استخدام هذه الطريقة، لن تحتاجوا إلى استخدام أجهزة التبريد الضخمة على جدران الغرفة. سيظل الجزء الخارجي من الجهاز باردًا، ولن يضطر العمال إلى تجنب الحروق أثناء الصيانة. بالإضافة إلى ذلك، ستحصلون على إنتاجية أعلى، دون الحاجة إلى استدعاء فنيي الصيانة لتحسين نظام التبريد في المنشأة. إنها طريقة فعالة للغاية.