في غرف العمليات المنظفة من الدرجة 1–100، يكفي حدوث تغير بمقدار نصف درجة أثناء عملية التسخين لتغيير القيم الحرجة المطلوبة، مما قد يؤدي إلى تلف كميات كبيرة من الرقائق. لذلك، يجب أن يوفر جهاز التسخين درجة حرارة مستقرة دون إنتاج أي جسيمات أو حدوث اختلافات في درجة الحرارة. لذلك، صممنا أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء في غرف العمليات المنظفة لتكون جزءًا أساسيًا من عملية التسخين، وليس مجرد إضافة عرضية.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم عناصر تسخين بالأشعة تحت الحمراء ذات استجابة سريعة وتحكم دقيق في الطيف، بحيث يتم نقل الحرارة مباشرة إلى الرقائق والحاملات، وليس إلى جدران الغرفة. هذا يوفر توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقائق بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية، كما يوفر استقرارًا في درجة الحرارة أفضل من ±0.2 درجة مئوية أثناء عملية التسخين. كما أن تكرار درجة الحرارة بين عمليات التسخين المختلفة يظل أقل من 0.3 درجة مئوية، مما يضمن استقرار معايير التسخين.
لماذا يعمل هذا الجهاز بشكل جيد في الإنتاج؟ عملية معالجة الرقائق تتطلب درجة حرارة محددة بدقة. تساعد أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء في رفع درجة حرارة الرقائق بسرعة، ثم الحفاظ على تلك الدرجة دون تجاوزها، مما يقلل من وقت عملية التسخين وفي نفس الوقت يحمي خصائص الرقائق. كما أن التصميم يقلل من تكوين الجسيمات إلى الصفر، مما يجعل التحكم في درجة الحرارة أمرًا سهلاً. تذهب الحرارة إلى المكان المطلوب، وليس إلى الهواء المحيط، مما يقلل من استهلاك الطاقة. في الإنتاج الفعلي، يعمل النظام 24/7 دون توقفات غير مخطط لها بسبب أعطال في عملية التسخين، كما أن الصيانة تكون مستمرة وليست رد فعل على المشاكل.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ يتعلق الأمر بمطابقة واجهة تحكم الفرن مع الأجهزة المستخدمة، بالإضافة إلى التأكد من استقرار الجهد والتيار الكهربائي. كما يجب توقع وجود فترة قصيرة لضبط معايير التحكم في درجة الحرارة. تكون أجهزة التسخين هذه حساسة لاستقرار الجهد الكهربائي، لذا يجب الحفاظ على استقرار التغذية الكهربائية لتجنب ظهور أي تغيرات في درجة الحرارة. كما يجب فحص الأجهزة بناءً على ساعات العمل، وليس وفقًا للتاريخ، لضمان استقرار درجة الحرارة في المكان المطلوب.