توقفوا عن استخدام الأضواء الزجاجية: للحفاظ على نظافة عملية معالجة الرقائق
إذا حدث لكم أن انفجر أحد الأضواء أثناء التشغيل بأقصى طاقة، فأنتم تعرفون مدى الإزعاج الذي يسببه ذلك. ليس المشكلة فقط في فترة التوقف عن العمل، بل أيضًا في هدر كامل دفعة من الرقائق بسبب تحول مكان العمل إلى مكان مليء بشظايا الزجاج والمواد الكيميائية. إنها كارثة حقيقية، وكارثة مكلفة للغاية.
لقد صممنا أضواء الأشعة تحت الحمراء خالية من الأوزون لمنع حدوث ذلك.
مشكلة الأوزون
المشكلة في الأضواء ذات الموجات القصيرة هي أنها تصدر أطوال موجية أقل من 200 نانومتر. قد يبدو ذلك تفصيلاً تقنيًا، لكن في الواقع، تؤدي هذه الأطوال الموجية إلى تحويل الأكسجين في الهواء إلى أوزون.
في غرف العمل النظيفة، الأوزون يُعتبر كابوسًا، لأنه مادة مسببة للتآكل، وتدمر المواد العضوية وتؤثر سلبًا على عملية الترسيب الكيميائي. لحل هذه المشكلة، استخدمنا غلافًا خاصًا من الكوارتز، وهو بمثابة فلتر يمنع أطوال الموجات الفراغية من الوصول إلى الأضواء. وبذلك، نحصل على الحرارة اللازمة للتصليد السريع، دون الحاجة إلى المواد الكيميائية الضارة.
لماذا تنكسر الأضواء؟
التشغيل بأقصى طاقة يسبب ضغوطًا شديدة على الكوارتز. معظم الأضواء تتعطل بسبب تبخر الفتيلة، مما يؤدي إلى تكون نقاط ساخنة في الأضواء، وفي النهاية تنفجر الأضواء.
لمنع ذلك، استخدمنا غاز الهالوجين عالي النقاء، وهو يساعد على الحفاظ على استقرار الفتيلة، وبالتالي يمنع تآكلها المبكر.
كما أن الأغلفة المستخدمة في الأضواء مهمة جدًا، لأنها تساعد على الحفاظ على الضغط الداخلي ثابتًا، حتى في درجات الحرارة العالية.
بعض النصائح
لا يوجد ضوء محصن تمامًا.
بسبب وجود طبقة التصفية في الكوارتز خالي من الأوزون، فإن إخراج الضوء يختلف قليلاً عن الكوارتز العادي. قد تحتاجون إلى زيادة الطاقة المستخدمة بنسبة 2-5%، أو تعديل إعدادات الوقت للوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة.
كما أنه من الضروري التأكد من أن مروحات التبريد قادرة على التعامل مع حرارة الأضواء، حتى لا تتلف الاتصالات الكهربائية.