Tại sao chúng ta sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại cho các công cụ xử lý wafer?
Nếu bạn đang làm việc trong môi trường yêu cầu tuân thủ các tiêu chuẩn không chứa chì hoặc thân thiện với môi trường, bạn chắc hẳn hiểu rõ áp lực mà mình phải đối mặt. Bạn không thể chỉ cố gắng đáp ứng các yêu cầu một cách tạm bợ; bạn phải đáp ứng chúng một cách hoàn hảo. Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại.
Hãy nghĩ về lò nướng thông thường: nó phải làm nóng toàn bộ căn phòng chỉ để làm nóng một chiếc đĩa nhỏ. Đó là sự lãng phí năng lượng. Còn đèn hồng ngoại thì khác: chúng chiếu năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer. Điều này giúp tiết kiệm thời gian và năng lượng. Vì chúng sử dụng tia hồng ngoại sóng ngắn hoặc sóng trung bình, nên năng lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Không cần phải làm nóng khí trong phòng hay sử dụng chất dung môi. Nhiệt lượng được truyền vào wafer, chứ không phải vào thành của công cụ xử lý wafer. Như vậy, chi phí điện sẽ giảm, và diện tích cần thiết để vận hành thiết bị cũng giảm xuống.
Ngoài ra, phương pháp này còn giúp duy trì môi trường làm việc sạch sẽ. Phương pháp khử ẩm truyền thống thường cần sử dụng chất xúc tác hóa học hoặc nhiệt độ cao, từ đó tạo ra các chất hữu cơ dễ bay hơi. Không ai muốn những chất này có mặt trong không khí hoặc trong quy trình sản xuất. Còn phương pháp sử dụng tia hồng ngoại thì không cần những chất phụ gia đó. Quy trình xử lý sẽ diễn ra trong môi trường khô ráo và sạch sẽ, không lo ngại về sự ô nhiễm bởi chì hay khí độc hại.
Tuy nhiên, cũng có một vấn đề: những chiếc đèn này tạo ra lượng nhiệt lớn trong thời gian ngắn. Bạn có thể khử ẩm cho wafer trong vài giây, điều này nghe có vẻ tuyệt vời. Nhưng nếu hệ thống làm mát không đủ hiệu quả, nhiệt độ trong phòng sẽ tăng lên, và các chỉ số đo lường sẽ bị ảnh hưởng. Để tránh điều này, chúng ta luôn kết hợp các chiếc đèn này với các thiết bị đo nhiệt độ chính xác. Như vậy, nhiệt độ sẽ được kiểm soát tốt hơn.
Về mặt vận hành hàng ngày, chúng tôi giữ mọi thứ đơn giản. Nếu một chiếc đèn bị hỏng, bạn chỉ cần thay thế nó thôi. Không cần phải mất hàng giờ để điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống làm nóng. Hơn nữa, không có quạt hay máy thổi gió nào tạo ra bụi trong khu vực làm nóng. Việc giảm số lượng bộ phận chuyển động giúp giảm lượng bụi, từ đó giúp duy trì môi trường làm việc sạch sẽ.