Đảm bảo nhiệt độ của wafer ở mức chính xác (không cần phải đoán mò)
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy sản xuất chip thông minh, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng việc lấy mẫu thủ công thật sự là một công việc vô cùng khó khăn. Việc này diễn ra chậm chạp, phiền phức, và thực tế thì nó không giúp bạn biết được chuyện gì đang xảy ra ngay lúc đó.
Đó chính là lúc các cảm biến hồng ngoại có độ chính xác cao trở nên hữu ích. Chúng cho phép chúng ta thu thập thông tin về nhiệt độ của wafer kích thước 300mm trong vòng vài miligiây, mà không cần chạm vào bề mặt wafer. Đó là cách duy nhất để đạt được mức độ chính xác và tốc độ như vậy.
Cơ chế hoạt động
Các cảm biến này thu nhận bức xạ điện từ phát ra từ bề mặt wafer. Thay vì để kỹ thuật viên ghi chép dữ liệu, dữ liệu gốc sẽ được truyền trực tiếp vào hệ thống PLC hoặc SCADA. Bạn có thể theo dõi mức độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ngay lập tức. Nếu có điểm nào có nhiệt độ quá cao, hệ thống sẽ tự động điều chỉnh các bộ phận gia nhiệt ngay lập tức. Không cần phải hy vọng rằng sản phẩm cuối cùng sẽ tốt nữa.
Đảm bảo sự tương tác giữa các thiết bị
Để nhà máy thực sự trở thành “nhà máy thông minh”, các thiết bị trong nhà máy cần phải có khả năng tương tác với nhau. Chúng tôi đảm bảo rằng các hệ thống hồng ngoại của chúng tôi sử dụng các tín hiệu tiêu chuẩn – thường là 4-20mA hoặc các giao thức kỹ thuật số – để có thể tích hợp dễ dàng vào hệ thống dữ liệu hiện có của bạn. Điều này tạo ra một vòng lặp kín. Bạn không chỉ nhìn vào màn hình để theo dõi sự thay đổi nhiệt độ; bạn còn có thể sử dụng dữ liệu này để điều khiển máy móc.
Thực tế
Thành thật mà nói, việc sử dụng các cảm biến hồng ngoại có độ phân giải cao không phải là giải pháp “kỳ diệu”. Những cảm biến này cần có tầm nhìn rõ ràng. Nếu trong buồng sản xuất có hơi nước hoặc bụi bẩn tích tụ trên kính quan sát, dữ liệu thu được sẽ không chính xác. Điều này thật phiền phức, nhưng đó là quy luật vật lý. Bạn cần lên kế hoạch để giải quyết vấn đề này. Dù đó là việc duy trì định kỳ các bộ phận quang học hay lắp đặt hệ thống làm sạch để giữ cho ống kính luôn sạch sẽ, bạn vẫn phải làm điều đó. Bởi vì nếu kính quan sát bị bẩn, dữ liệu mà bạn thu được sẽ chẳng có giá trị gì cả. Đó là công việc bổ sung, nhưng đó chính là cái giá mà bạn phải trả để đạt được mức độ chính xác cần thiết trong quá trình sản xuất chip.