Wafer’lerinizi Gerçekten Temiz Tutmak
MEMS sensörü wafer’lerini kuruturken sıcaklık yalnızca sorunların yarısıdır. Asıl sorun, parçacıkların oluşmasıdır. Class 100 temiz oda koşullarında, eski filamanlardan kaynaklanan küçük parçacıklar veya gaz halindeki yapıştırıcılar, tüm sensörleri bir anda bozabilir. Bu durum hem sinir bozucu, hem de maliyetli bir durumdur; ancak tamamen önlenebilir.
İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını kullanıyoruz. Bu lambalar, kirlilik sorunlarına neden olmaz.
Kuvars Lambaların Neden İşe Yaradığı
Çoğu ısıtıcı metal veya seramik malzemelerden yapılmıştır. Sorun şu ki, bu malzemeler zamanla mikro parçacıklar üretir.
Kuvars lambalarımız ise farklı şekilde çalışır. Radyasyon yoluyla ısı aktarımı sağlarlar; yani ısı doğrudan filamandan wafer’e aktarılır. Arada hiçbir aracı yoktur; dolayısıyla sensörlerinize herhangi bir kirlilik bulaşmaz. Yüksek saflıkta kuvars kullanarak, aşırı ısınma durumlarında bile camın bozulmasını veya gaz salınımını engelliyoruz.
Güç ile Isı Arasındaki Denge
Hızlı kurutma için çok yüksek güç gereklidir. Bu yüzden çok az alanda çok yüksek güç üretiyoruz. Bu sayede wafer’ler hızlıca kurur. Ancak bu yoğunluk beraberinde bir sorunu da getirir: lambanın yüzeyi inanılmaz derecede ısınır. Eğer soğutma fanlarınız veya ısı dağıtıcılarınız yetersizse, soketleriniz veya makine çerçeveniz aşırı ısıdan zarar görebilir. Bu lambaları dar alanlara yerleştirmeden önce hava akış hızını mutlaka kontrol edin. Bu sayede ileride büyük sorunlar yaşamazsınız.
İşleri Daha Kolay Hale Getirmek
Kesintilerin düşman olduğunu biliyoruz; bu yüzden bu lambaların değiştirilmesini kolaylaştırdık. Standart konektörler kullandığımız için, lamba bozulduğunda sadece onu çıkarıp yerine yeni bir tane takmak yeterlidir. Tüm sistemi yeniden kalibre etmek için saatler harcamanıza gerek yok. Ayrıca kuvarsın yüzeyinde çukurlar oluşmasını engelleyici işlemler yapıyoruz. Böylece ısı, tüm wafer üzerinde eşit olarak dağılır. Bu da, aşırı ısınma durumlarında deformasyona uğrayabilecek ince MEMS membranları için oldukça önemlidir.
Son Bir İpucu: Camı temiz tutun. Kurulum sırasında kuvarsın üzerine parmak izleri veya cilt yağları bırakırsanız, bunlar camın içine işleyecektir. Böyle bir durumda kalıcı bir soğuk nokta oluşur ve lambayı değiştirmeniz gerekecektir. Eldiven kullanın ve camı temiz tutun; böylece sorunsuz bir şekilde kullanabilirsiniz.