Üretim alanında, wafer seviyesindeki CSP hatlarının, fotoresist işlemleri veya kurutma sürecinde sıcaklık değişikliklerine müsaade etmesi mümkün değildir. Yumuşak veya sert fırınlamada meydana gelen 1°C’lik bir sıcaklık değişikliği bile kritik boyutları etkileyebilir; ayrıca temizlik sonrasında kalan nem de ürün kalitesini düşürebilir. İşte bu yüzden bu tür işlemler için kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; çünkü burada termal kontrol kesinlikle vazgeçilemez bir unsur.
Teknik açıdan önemli olanlar
Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanarak waferlere hızlı ve temas gerektirmeyen şekilde ısı uygulanır; ayrıca ±0.1°C’lik bir tutarlılık sağlanır. Kuvars-halogen emisörleri, enerjiyi doğrudan fotoresiste ve substrata aktarır; böylece termal gecikme minimum seviyede kalır ve fırınlama süreci daha düzgün işler. Sıcaklığı belirledikten sonra, kapalı döngülü sensörler bu sıcaklığı tüm parti boyunca sabit tutar; böylece kenar boşlukları ve diğer hatalar da kontrol altında kalır.
Bu cihaz, Temiz Oda Sınıfı 1–100 standartlarına uygun olarak tasarlanmıştır: Partikül üretimi yoktur, düşük gaz emisyonlu malzemeler kullanılır ve yüzeyler kolayca temizlenebilir. 24/7 çalışır ve planlı bakım süreçleri sayesinde beklenmedik arızalar yaşanmaz.
Neden bu cihaz işlem için uygundur?
Bu ısıtıcı, waferlerin kurutulması, fotoresistlerin işlenmesi ve sonraki adımlarda karşılaşılan sorunları çözer. Hızlı ısınma süreci, döngü süresini kısaltırken aynı zamanda fotoresistlerin yeniden erimesini engeller. Enerji tüketimi ise, emisörlerin sadece gerektiğinde çalışması ve düşük termal kütle nedeniyle azalır. Böylece tutarlı bir film kalınlığı elde edilir, temizlik sonrası hatalar azalır ve yüksek hacimli üretimlerde bile işlem kontrollü bir şekilde devam eder. Bunun sonucunda daha yüksek verimlilik ve daha az atık elde edilir; bu da doğrudan sıcaklık kontrolüyle ilişkilidir.
Bilmeniz gerekenler
Montaj işlemi, cihazın arayüzlerinin uyumlu olmasına bağlıdır: OEM montaj desenleri, konektör türleri ve voltaj değerleri, platformunuzla uyumlu olmalıdır. Cihaz, görüş mesafesinin açık olduğu ve yansıtıcı yüzeylerin iyi yönetildiği durumlarda en iyi performansı gösterir; aksi takdirde sıcak noktalar ortaya çıkabilir. Düzenli olarak pirometre kalibrasyonu yapılmalı ve emisörlerin de zamanında değiştirilmesi gerekmektedir. Böylece ±0.1°C’lik tutarlılık korunur ve işlem kontrol altında tutulur.