Wafer Sıcaklıklarını Doğru Bir Şekilde Ölçmek (Tahmin Yapmaya Gerek Kalmadan)
Eğer “Akıllı bir fabrika” kurmaya çalışıyorsanız, manuel ölçümlerin ne kadar zor olduğunu muhtemelen biliyorsunuzdur. Bu yöntem yavaştır, zaman alıcıdır ve açıkçası o an neler olduğunu size söylemez.
İşte burada yüksek hassasiyetli IR sensörleri devreye girer. Bu sensörler sayesinde, 300 mm’lik waferin termal profilini milisaniyeler içinde görebiliriz; üstelik waferi hiç dokundurmadan. Bu tür bir hız ve doğruluk elde etmenin tek yolu budur.
Nasıl çalışır?
Bu sensörler, waferin yüzeyinden yayılan elektromanyetik radyasyonları algılar. Böylece teknisyenlerin not almasına gerek kalmaz; ham veriler doğrudan PLC veya SCADA sistemlerine aktarılır. Waferin tamamındaki sıcaklık dağılımını anında görebilirsiniz. Eğer bir nokta aşırı ısınırsa, sistem bunu hemen fark eder ve ısıtma elemanlarını anında ayarlar. Artık parmaklarınızı şansın işe yaramasını umarak kavuşturmanıza gerek yok.
Donanımın uyumlu çalışması
Bir fabrikanın gerçekten “akıllı” olabilmesi için, donanımların birbirleriyle iletişim kurabilmesi gerekiyor. IR sistemlerimizin standart sinyaller kullanmasını sağlıyoruz; genellikle 4-20mA veya dijital protokoller. Böylece bu sistemler mevcut veri altyapınıza kolayca entegre olabilir.
Bu sayede kapalı bir döngü oluşur. Sadece ekrana bakıp sıcaklığın nasıl değiştiğini görmüyorsunuz; aynı zamanda bu canlı verileri kullanarak makineyi kontrol edebiliyorsunuz.
Gerçekler
Dürüst olmak gerekirse, yüksek çözünürlüklü IR sensörleri, her aracın üzerine sallayabileceğiniz sihirli bir değnek değildir. Bu sensörlerin net bir görüş alanına ihtiyacı vardır. Eğer odanın penceresinde buhar veya kir birikirse, ölçümler yanlış olmaya başlar. Bu sinir bozucu olabilir, ancak bu fizik kurallarının bir sonucudur. Buna karşı önlem almak zorundasınız. İster optik yol için sıkı bir bakım programı uygulayın, ister lensleri temiz tutmak için bir sistem kurun; bunları yapmak zorundasınız. Çünkü eğer pencere kirliyse, “akıllı” verileriniz aslında sadece gürültüden ibarettir. Bu biraz ekstra iş demektir, ancak yüksek hassasiyet gerektiren yarı iletken üretimi için ödenmesi gereken bir bedeldir.