Waarom we infrarode curing gebruiken voor waferbewerking
Als je werkt volgens regels die het gebruik van loodvrije materialen of milieuvriendelijke methoden vereisen, weet je hoe belangrijk het is om aan deze eisen te voldoen. Je kunt niet zomaar ‘dicht in de buurt’ van de vereisten komen; je moet ze perfect nakomen. Hier komt infrarode curing om de hoek kijken.
Stel je eens voor dat je een gewone convectieoven gebruikt: deze verwarmt de hele ruimte alleen maar om één plaat op te warmen. Dat is verspilling. Infraroodlampen zijn anders: ze richten de energie rechtstreeks op het oppervlak van de wafer. Het is efficiënt en snel.
Omdat we kortegolf- of middengolfinfrarood gebruiken, gaat de energie rechtstreeks naar het substraat. Er wordt geen tijd verspild aan het opwarmen van grote hoeveelheden lucht of het gebruik van oplosmiddelen. De hitte gaat precies waar het moet zijn: in de wafer, niet in de wanden van het apparaat. Hierdoor blijft je energierekening laag en blijft de oppervlakte van je productieruimte klein.
Daarnaast is er nog het aspect van ‘zuiverheid’. Bij traditionele bewerkingsmethoden zijn chemische katalysatoren nodig, of worden extreme temperaturen gebruikt, waardoor vluchtige organische verbindingen vrijkomen. Niemand wil dat in zijn longen of in het productieproces. Infrarode curing heeft geen behoefte aan zulke additieven. Je hebt zo een schone en efficiënte proceswijze, zonder zorgen over loodcontaminatie of schadelijke gassen.
Er is echter wel een nadeel: deze lampen produceren veel hitte in een zeer korte tijd. Je kunt een wafer in seconden behandelen – dat klinkt als magie. Maar als je kijkt naar het koelsysteem, zie je dat dit probleem kan veroorzaken. Als de warmtewisselaars niet goed genoeg zijn, stijgt de omgevingstemperatuur en gaan de sensoren onbetrouwbaar werken. Om dit te voorkomen, gebruiken we altijd pyrometer met hoge nauwkeurigheid. Hierdoor blijft de temperatuur onder controle.
In het dagelijks gebruik houden we het simpel: als een lamp kapotgaat, vervang je hem gewoon. Je hoeft geen uren bezig te zijn met het kalibreren van het hele systeem. Bovendien zijn er geen ventilatoren of blazers die stof in de verwarmer zetten. Met minder bewegende delen komt er ook minder stof vrij, waardoor de zuiverheid van de productieruimte behouden blijft.