Hoe je de temperatuur van je wafer goed kunt controleren (zonder te gokken)
Als je een “Smart Fab” wilt bouwen, weet je vast al dat handmatig monsters nemen een nachtmerrie is. Het is traag, tijdrovend en levert niet de gewenste informatie op over wat er op dat moment echt gebeurt.
Daarom zijn hoogprecieze IR-sensors nodig. Ze maken het mogelijk om in miliseconden het thermische profiel van een 300mm-wafer te zien, zonder dat de ondergrond zelfs maar wordt aangeraakt. Dit is de enige manier om zulke hoge snelheden en nauwkeurigheid te bereiken.
Hoe het werkt
Deze sensoren vangen de elektromagnetische straling op die van het oppervlak van de wafer komt. In plaats dat een technicus aantekeningen maakt, gaan de ruwe gegevens rechtstreeks naar het PLC- of SCADA-systeem. Je kunt dus direct zien hoe gelijkmatig de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer is verdeeld. Als er een hete plek ontstaat, merkt het systeem dit meteen op en passen de verwarmingselementen zich onmiddellijk aan. Geen gebrek meer aan hoop dat alles goed komt…
Zorgen dat de apparatuur goed samenwerkt
Voor een “Smart Fab” is het belangrijk dat alle apparaten met elkaar kunnen communiceren. Wij zorgen ervoor dat onze IR-systemen gebruikmaken van standaardsignalen – meestal 4-20mA of digitale protocollen – zodat ze gemakkelijk kunnen worden geïntegreerd in het bestaande data-netwerk. Hierdoor ontstaat een gesloten cyclus: je kijkt niet alleen naar het scherm om te zien hoe de temperatuur verandert, maar je gebruikt deze live-gegevens ook om de machine te besturen.
De realiteit
Eerlijk gezegd is hoogresolutie-IR-sensoring geen magische oplossing. Deze sensoren hebben een duidelijke zichtlijn nodig. Als er stof of vuil op het venster van de kamer zit, zullen de metingen onnauwkeurig worden. Dat is frustrerend, maar het is gewoon de wetenschap. Je moet hier rekening mee houden. Of dat nu betekent dat je een strikt onderhoudsschema voor de optische componenten hebt, of dat je een systeem installeert om de lenzen schoon te houden: je moet dit wel doen. Want als het venster vies is, zijn de “intelligente” gegevens eigenlijk nutteloos. Het kost wat extra moeite, maar dat is de prijs die je moet betalen voor de nauwkeurigheid die vereist is bij het bewerken van halfgeleiders.