옥스포드 인스트루먼트 히터 요소

라인에서 온도 드리프트는 경고 표시 없이 나타난다. 이는 라인폭 변동, 소프트 베이크 후 달라붙지 않는 포토레지스트, 그리고 일일 리포트에 기록되는 불량으로 드러난다. 웨이퍼 제조와 패키징에서 열 예산(thermal budget)은 엄격한 한계이며, 협상 여지가 없다...