청소한 후 웨이퍼를 어떻게 건조시키나요

웨이퍼 가공 공정에서, 깨끗하게 세척된 웨이퍼의 청결도는 최종 건조 단계에서 결정됩니다. 물자국, 미세 입자, 포토레지스트의 부착 문제들은 모두 불균일한 열 분포나 오염 요인 때문에 발생합니다. 세척 후에는 더 이상 추측할 여지가 없습니다. 기술적으로 중요한 점 우리...