SEM(주사전자현미경) 히터

제조 공장에서는, 샘플 스테이지가 조금이라도 움직이기 시작하면 SEM 검사의 정밀도가 떨어집니다. 포토레지스트를 가열할 때나 중요한 이미징 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변화가 생겨도 선의 굵기가 변하고 대비도 달라져서 다시 검사를 해야 합니다. 따라서 신뢰할 수 있...