창고 히터
박물관과 갤러리에서는, 소장품에 위험을 주지 않으면서도 적절한 온도를 유지해야 합니다. 강제 공기 순환 시스템은 먼지를 일으키고 습도를 변화시키는데, 이는 섬세한 작품들에게는 해로울 수 있습니다. 반면, 적외선 히터는 공기가 움직이지 않고 강한 대류 현상도 없이, 사...
저소음 전기 히터
해가 지면 공기가 매우 차가워집니다. 갑자기 테라스가 마치 밤 동안 사용할 수 없는 공간처럼 느껴집니다. 저녁 시간을 더 길게 즐기고 싶지만, 모두가 편안하게 휴식을 취하고 싶은데, 기계처럼 시끄러운 히터는 오히려 방해가 됩니다. 그러나 저소음 전기 히터는 그러한 문...
클린룸 오븐 적외선 히터
리소그래피 공정에서는 포토레지스트를 가열할 때 단 0.5도만의 온도 변동도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이로 인해 많은 웨이퍼가 폐기되고 맙니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는 히터가 입자를 방출하지 않으면서도 일정한 온도를 유지해야 합니다. 저희는...
청소한 후 웨이퍼를 어떻게 건조시키나요
웨이퍼 가공 공정에서, 깨끗하게 세척된 웨이퍼의 청결도는 최종 건조 단계에서 결정됩니다. 물자국, 미세 입자, 포토레지스트의 부착 문제들은 모두 불균일한 열 분포나 오염 요인 때문에 발생합니다. 세척 후에는 더 이상 추측할 여지가 없습니다.
기술적으로 중요한 점 우리...
에바테크 증발기 가열 램프
24/7으로 가동되는 생산 라인에서 유응축기용 가열 램프가 고장나면, 단순히 한 대의 장비만 멈추는 것이 아닙니다. 리소그래피 공정이 중단되고, 온도 조절이 제대로 이루어지지 않으며, 포토레지스트의 건조 과정도 정상적으로 진행되지 않습니다. 가동 시간은 분 단위로 측...
도매용 웨이퍼 건조 램프
웨이퍼가 최종 세척 공정을 마치고 나오는 순간부터 시간은 계속 흘러갑니다. 건조 과정에서 조금이라도 지체가 생기면 패턴이 손상되거나 가장자리에 이물질이 생길 수 있으며, 이러한 이물질들은 웨이퍼와 함께 리소그래피 및 에칭 공정으로 전달됩니다. 당사의 웨이퍼 건조용 램...
심부 자외선(DUV) 리지스트 경화 램프
리소그래피 공정에서, 소프트 베이크 과정 중 0.2°C의 온도 변동은 사소한 문제가 아닙니다. 이는 생산성에 직접적인 영향을 미칩니다. DUV 포토레지스트는 열처리가 시작된 처음 몇 분 안에 그 크기가 확정되며, 베이크 과정을 통해 용매 제거, 필름의 응력, 가장자리...
온실 히터
온도가 내려갈 때, 온실은 단순한 식물 보호소에 그치지 않습니다. 온실은 몇 도의 온도 변화에도 취약한 시스템입니다. 한 번의 혹한이 발생하면 식물의 성장이 멈출 수 있으며, 질병이 생길 위험이 있고, 몇 달간의 노력이 수포로 돌아갈 수도 있습니다. 그래서 우리는 간...
사파이어 웨이퍼 가공용 히터
라인 위에는 150mm 크기의 사파이어 웨이퍼가 있으며, 이 웨이퍼는 포토레지스트를 처리하기 위해 준비되어 있습니다. 여기서는 온도 변동이 단 0.5도만 되어도 중요한 치수에 영향을 미칠 수 있으며, 단 하나의 입자라도 작업을 망칠 수 있습니다. 그래서 히터는 공정...
웨이퍼용 중파 적외선 히터
제조 현장에서는 알다시피, 베이킹 온도가 0.5°C만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이로 인해 몇 시간에 걸쳐 진행된 리소그래피 작업이 모두 무너질 수 있죠. 중파 적외선 히터는 바로 이러한 오차가 발생하기 전에 그것을 막아줍니다.
실제로 중요한 것은...
타워 히터
겨울은 언제나 그렇듯 천천히 찾아옵니다. 추위는 바닥부터 시작되어 손과 발로 퍼져나갑니다. 담요로도 그 추위를 막을 수는 없습니다. 반면, 적외선 히터는 공기만 따뜻하게 하는 것이 아니라, 직접적인 열을 방출하여 피부와 그 주변 조组织를 따뜻하게 해줍니다.
실제로 어...
기숙사 난방기
반개방된 형태의 복도에서는 난방이 어렵습니다. 양쪽 끝에서 찬 공기가 들어오고, 사람들의 이동으로 인해 난방에 필요한 에너지의 양도 계속 변합니다. 일반적인 히터를 계속 가동하면 에너지 비용이 급격히 증가합니다. 반대로 난방을 약하게 하면 손님과 직원들이 불편함을 호...
SEM(주사전자현미경) 히터
제조 공장에서는, 샘플 스테이지가 조금이라도 움직이기 시작하면 SEM 검사의 정밀도가 떨어집니다. 포토레지스트를 가열할 때나 중요한 이미징 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변화가 생겨도 선의 굵기가 변하고 대비도 달라져서 다시 검사를 해야 합니다. 따라서 신뢰할 수 있...
3D 화염형 벽난로 히터
독서를 할 때의 그 조용한 시간은, 방의 온도가 따뜻할 때만 유지됩니다. 공기가 차가워지면 어깨가 위로 올라가고 근육이 긴장되어, 이야기에 집중하기가 어려워집니다. 3D 화염 형태의 난방기는 적외선 열을 방출하여 몸을 직접 따뜻하게 해줍니다. 그래서 추위가 들어오지...
웨이퍼 레벨 CSP(칩 스케일 패키지) 히터
위치 제어가 필요한 공정에서는, 웨이퍼 수준의 CSP 공정에서도 포토레지스트 처리나 건조 과정 중에 온도 변동이 있어서는 안 됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생기더라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 세척 후 남아...