Perché utilizziamo la tecnologia di essiccazione a raggi infrarossi per gli strumenti utilizzati nella lavorazione dei wafer
Se lavorate nell’ambito di normative che impongono l’uso di materiali senza piombo o ecologicamente sostenibili, conoscete bene la pressione a cui si è sottoposti. Non è sufficiente cercare di soddisfare approssimativamente tali requisiti: bisogna farlo perfettamente. È qui che entra in gioco la tecnologia di essiccazione a raggi infrarossi.
Pensate a un forno tradizionale a convezione: riscalda l’intera stanza solo per riscaldare un singolo wafer. È uno spreco di energia. Le lampade a raggi infrarossi, invece, concentrano l’energia direttamente sulla superficie del wafer. È un processo diretto e veloce.
Poiché utilizziamo raggi infrarossi a onda corta o media, l’energia viene trasmessa direttamente al substrato. Non c’è bisogno di sprecare tempo a riscaldare grandi quantità d’aria o di utilizzare solventi per facilitare il processo di essiccazione. Il calore arriva esattamente dove serve: nel wafer, non nelle pareti degli strumenti utilizzati. Il costo energetico diminuisce, e lo spazio necessario per le operazioni di produzione rimane ridotto.
Inoltre, c’è anche il vantaggio legato alla pulizia del processo. I metodi tradizionali di essiccazione richiedono solitamente catalizzatori chimici o temperature estreme, che producono composti organici volatili. Nessuno vuole questo tipo di sostanze nei propri polmoni o nei propri processi di produzione. La tecnologia a raggi infrarossi, invece, non necessita di tali additivi. Si ottiene così un processo pulito e senza rischi legati alla contaminazione da piombo o a fumi pericolosi.
Tuttavia, ci sono delle sfide da affrontare. Queste lampade producono una grande quantità di calore in tempi molto brevi. È possibile essiccare un wafer in pochi secondi… ma se i sistemi di raffreddamento non sono adeguati, la temperatura ambiente aumenta, e i valori misurati dai sensori diventano instabili. Per evitare questo problema, abbiniamo sempre queste lampade a pirometri ad alta precisione. In questo modo, si evita che la temperatura diventi troppo elevata.
Nel quotidiano, manteniamo tutto semplice: se una lampada si rompe, basta sostituirla. Non è necessario impiegare ore per ricalibrare l’intero sistema termico. Inoltre, non ci sono ventilatori o soffianti che creano polvere nella zona di riscaldamento. Meno componenti in movimento significa meno particelle, e quindi le condizioni della sala pulita rimangono come dovrebbero essere.