Mantenere le wafer effettivamente pulite durante il processo di essiccazione
Quando si essiccano le wafer dei sensori MEMS, il calore rappresenta soltanto metà del problema. Il vero problema è la formazione di particelle contaminanti. In una stanza pulita di classe 100, anche un piccolissimo frammento di filamento o un po’ di colla possono rovinare l’intero lotto di sensori in pochi istanti. È frustrante, costoso… e del tutto evitabile.
Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi in quarzo di alta purezza. Queste lampade non causano alcuna contaminazione.
Perché il quarzo funziona davvero bene
La maggior parte dei riscaldatori utilizza rivestimenti metallici o componenti in ceramica. Il problema? Questi materiali tendono a rilasciare micro-particelle nel tempo. Le nostre lampade a quarzo funzionano in modo diverso: utilizzano il trasferimento termico radiativo, il che significa che il calore passa direttamente dal filamento alla wafer. Non c’è alcun intermediario che possa causare contaminazioni. Utilizziamo un tipo specifico di quarzo ad alta purezza, in modo che il vetro non si deteriori né rilasci gas, anche quando le temperature diventano molto elevate.
Il compromesso: potenza contro calore
Per ottenere tempi di essiccazione rapidi, dobbiamo concentrare molta potenza in uno spazio molto piccolo. Funziona: le wafer si asciugano velocemente. Ma questa intensità ha un prezzo: la superficie della lampada diventa estremamente calda. Se i ventilatori di raffreddamento o i dissipatori di calore non sono adeguati, i componenti della macchina potrebbero surriscaldarsi. Prima di collegare queste lampade in ambienti ristretti, verificate sempre la portata d’aria. Così eviterete problemi futuri.
Semplificare le operazioni
Sappiamo che i tempi di fermo sono un grosso problema, quindi abbiamo progettato queste lampade in modo che siano facili da sostituire. Utilizziamo connettori standard: quando una lampada si guasta, basta semplicemente sostituirla con una nuova. Non è necessario impiegare ore per ricalibrare l’intero sistema. Inoltre, trattiamo il quarzo per evitare che si formino piccole impurità sulla superficie. Questo permette di mantenere una distribuzione uniforme del calore su tutta la wafer, il che è fondamentale per quelle sottili membrane MEMS che potrebbero deformarsi se esposte a punti di calore elevati.
Un ultimo consiglio: mantenete il vetro pulito. Se lasciate impronte digitali o oli cutanei sul quarzo durante l’installazione, questi si attaccheranno permanentemente al vetro. In tal caso, dovrete sostituire la lampada. Indossate dei guanti e mantenete il vetro pulito: così potrete lavorare senza problemi.