גוף חימום חלופי ל Axcelis

על רצפת המפעל, כלי הטענה יונית או אפיית פוטורזיסט חייב לפעול 24/7 ללא סטיות. אם אלמנט חימום אחד מתחיל לתפקד באופן בלתי מספק, אחידות הטמפרטורה חורגת...