כיצד לייבש את הוופר לאחר הניקיון

במחלקת הייצור, רמת הניקיון של הוופר תלויה בעיקר בשלב הייבוש הסופי. סימני מים, חלקיקים זעירים ובעיות בהידבקות הפוטורזיסט נובעים כולם מפרופילים תרמיים...