Елемент нагріву для оксидування ваферів
Вступ
Оксидація пластин – це дуже складні умови для роботи обладнання. Потрібен нагрівальний елемент, який зможе витримувати високі температури...
Як висушити вафер після чищення
На виробничій лінії чиста пластинка є настільки чистою, наскільки чистим є її кінцевий етап сушіння. Сліди води, мікрочастинки та проблеми з...
Нирковий нагрівач середньохвильового діапазону для пластин
На виробничій лінії все відбувається так: навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів, що може...