На виробничій лінії все відбувається так: навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів, що може зруйнувати результати годинної роботи з літографією. Нагрівачі середньохвильового ІЧ-випромінювання призначені для запобігання таким змінам ще до того, як вони стануть значущими.
Що насправді має значення» Нагрівачі середньохвильового ІЧ-випромінювання передають енергію безпосередньо у фоторезист та підкладку – швидко та контрольовано. Ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C по всій зоні нагріву, а стабільність параметрів залишається в межах ±0,2°C під навантаженням. Емісія налаштовується відповідно до вимог для кремнію та інших матеріалів, тож не виникає проблем під час процесу нагріву.
Корпус нагрівача призначений для використання в чистих приміщеннях; він відповідає стандартам ISO Class 1–100. Його поверхні та ущільнювачі розроблені так, щоб уникнути утворення частинок під час роботи. Параметри нагріву є стабільними: кожна партія продукції проходить процес нагріву за однаковими умовами.
Чому це корисно під час обробки фоторезисту» Процес м’якого нагріву спрямований на видалення розчинника та контроль напруги у плівці. Процес жорсткого нагріву забезпечує кращу адгезію та стійкість плівки до ерозії. Завдяки нагрівачам середньохвильового ІЧ-випромінювання ці процеси відбуваються в межах строгих температурних параметрів, що дозволяє зменшити неоднорідність ліній та уникнути дефектів, спричинених температурою.
Це означає менше необхідності повторної обробки, вищу якість продукції та можливість точного контролю параметрів. Нагрівання є цілеспрямованим, тож витрати енергії зменшуються, а надійність пристрою зберігається протягом 24/7 без перерв.
Що потрібно правильно налаштувати під час встановлення» Встановлення полягає у точній оптичній налаштуванні та стабільному подачі енергії – напруга та тип з’єднань мають відповідати характеристикам основного обладнання. Нагрівачі середньохвильового ІЧ-випромінювання забезпечують відмінну однорідність, але їх потрібно налаштувати відповідно до розміру пластини та геометрії кріплення.
Потрібен короткий період налаштування для оптимізації емісії для вашої плівки. Після цього процес залишається стабільним, а обслуговування – мінімальним.