На заводі з виробництва чипів лінія обробки на рівні пластини не може дозволити собі температурні коливання під час обробки фотолаку або його висушування. Коливання температури на 1°C під час процедури висушування може призвести до зміни критичних розмірів чипа. Крім того, наявність вологи після очищення також негативно впливає на якість продукції. Саме тому ми створили інфрачервоний нагрівач для цих етапів обробки – там температурний режим є абсолютно необхідним.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання для швидкого нагрівання пластини без фізичного контакту, з точною точністю ±0,1°C. Кварцово-галогенні емітери передають енергію прямо у фотолак та основу пластини, тож температурні коливання залишаються мінімальними. Ви можете налаштувати потрібну температуру, а датчики забезпечують її стабільне підтримування протягом усього процесу. Таким чином, товщина шару та наявність залишків фотолаку залишаються в заданих межах.
Цей нагрівач призначений для використання в чистих кімнатах класу 1–100: він не створює частинок, використовує матеріали з низьким рівнем випаровування, а його поверхня легко очищується. Він працює 24/7 з передбачуваними періодами технічного обслуговування, тож непланові перерви не стають проблемою.
Чому цей нагрівач підходить для цього процесу
Цей нагрівач допомагає вирішити проблеми, пов’язані з висушуванням пластини, обробкою фотолаку та подальшою процедурою висушування. Швидке нагрівання скорочує час процесу без перевищення температури. Стабільна температура зменшує варіації у структурі фотолаку та утворення дефектів на краях чипа. Використання енергії знижується, оскільки емітери активуються лише тоді, коли це необхідно. Це забезпечує однакову товщину шару, менше дефектів після очищення та стабільність процесу навіть при великій кількості чипів, які обробляються. Результатом є вища якість продукції та менше відходів – що безпосередньо пов’язано з точним контролем температури.
Що потрібно знати
Установка нагрівача полягає у відповідності його інтерфейсів до параметрів вашої платформи: типи кріплень, роз’єми та напруга мають відповідати специфікаціям вашої системи. Нагрівач працює найкраще, коли шлях випромінювання є відкритим, а відбивні поверхні контролюються – інакше можуть виникнути місця з підвищеною температурою. Необхідно також регулярно калібрувати пірометр та дотримуватися графіка заміни емітерів. Таким чином можна зберегти точність температури на рівні ±0,1°C та контролювати процес обробки.