Зупиніть „скляний дощ“: збережіть чистоту під час обробки вафер
Якщо у вас коли-небудь ламалась лампа під високим навантаженням, ви знаєте, що це означає. Це не лише дратівливо через перерву в роботі. Це ще й жахлива ситуація, коли вся партія вафер пропадає через те, що робоча зона раптово заповнюється уламками скла та хімічними залишками. Це справжній безлад – величезний та дорогий безлад.
Ми створили наші інфрачервоні лампи без озону саме для того, щоб цього не траплялося.
Проблема з озоном
Стандартні лампи короткохвильового світла випромінюють хвилі довжиною менше 200 нм. Це може здатися технічною деталлю, але насправді ці хвилі взаємодіють із киснем у повітрі та перетворюють його на озон. У чистій кімнаті озон є справжнім кошмаром – він є корозійним, руйнує органічні матеріали та заважає процесу хімічного осадження. Ми вирішили цю проблему, використовуючи спеціальну кварцову оболонку, яка функціонує як фільтр, блокуючи ці хвилі. Таким чином ви все одно отримуєте необхідне тепло для швидкого висихання, але без негативних хімічних наслідків.
Чому лампи все ж таки ламаються
Високе навантаження серйозно впливає на кварц. Термічні навантаження є величезними. Більшість ламп ламаються через те, що філамент випаровується, стає тоншим, що призводить до утворення „точок нагріву“, які зрештою призводять до розриву лампи. Щоб цього уникнути, ми використовуємо газ з високою чистотою. Він забезпечує стабільність філамента, щоб той не зношувався передчасно.
Крім того, є ще проблема з ущільненнями. Коли лампа працює на максимальній потужності, різниця температур між центром лампи та її кінцями є величезною. Якщо ущільнення слабке, там починається витік. Ми посилили ущільнення, щоб вони могли витримати це навантаження, зберігаючи стабільний внутрішній тиск навіть у найскладніших умовах.
Кілька порад
Пам’ятайте: жодна лампа не є непереможною. Через наявність фільтруючого шару у наших лампах, яскравість світла трохи відрізняється від яскравості звичайних кварцових ламп. Можливо, вам доведеться підвищити потужність на 2–5% чи налаштувати таймери, щоб досягти бажаної температури.
Ще одна порада: обов’язково перевірте вентилятори охолодження. Вони мають витримувати теплове навантаження на кінцях лампи, щоб електричні контакти не пошкодилися.