วิธีสร้างความร้อนในห้องปลอดฝุ่นโดยไม่ทำให้เกิดความสกปรก
การสร้างความร้อนในห้องปลอดฝุ่นสำหรับการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์นั้นเป็นเรื่องที่ยากพอสมควร หากไม่ระมัดระวัง ข้อผิดพลาดเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดความสกปรกได้ นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้เทคโนโลยีการให้ความร้อนด้วยแสงอินฟราเรดแทน
ไม่มีการใช้ลมร้อน ไม่มีสารเคมีที่เป็นอันตราย มีเพียงความร้อนที่สะอาดและมีประสิทธิภาพเท่านั้น นี่คือวิธีที่ง่ายที่สุดในการบรรลุเป้าหมายด้านการลดการใช้สารที่เป็นอันตราย และรักษ์สิ่งแวดล้อมได้
หลักการทำงานของแสงอินฟราเรด
ลองนึกดูสิ: เราไม่ได้พยายามทำให้อากาศในห้องร้อนขึ้น นั่นเป็นการสูญเสียเวลา และยังเพิ่มความเสี่ยงที่จะทำให้ฝุ่นเข้าไปปนเปื้อนชิปได้
แต่แสงอินฟราเรดจะส่งความร้อนไปยังชิปโดยตรง มันเหมือนกับการยืนอยู่กลางแดดในวันที่อากาศหนาว – คุณจะรู้สึกถึงความอบอุ่นทันที แม้ว่าอากาศรอบตัวจะหนาวจัดก็ตาม เนื่องจากความร้อนส่งตรงไปยังชิป ทำให้ชิปร้อนขึ้นได้อย่างรวดเร็ว และไม่จำเป็นต้องใช้พลังงานมากมายเพื่อทำให้อากาศร้อนขึ้น
รายละเอียดเกี่ยวกับการติดตั้ง
สำหรับการติดตั้งเครื่องให้ความร้อน เรามักจะเลือกใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดแบบคลื่นสั้นหรือคลื่นกลาง เพราะมันสามารถสร้างความร้อนได้มากในพื้นที่เล็กๆ เรายังใช้ภาชนะที่ทำจากควอตซ์ด้วย เพราะมันไม่ปล่อยก๊าซออกมา ทำให้อากาศยังคงสะอาดอยู่
เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ เราใช้ตัวควบคุม PID ซึ่งช่วยรักษาอุณหภูมิไว้ในช่วง ±1°C ซึ่งเป็นค่าที่แม่นยำมาก
แต่มีข้อควรระวังอย่างหนึ่ง นั่นคือต้องควบคุมความหนาแน่นของพลังงานให้ดี หากหลอดไฟสร้างความร้อนมากเกินไป และเครื่องให้ความร้อนเคลื่อนที่ช้าเกินไป ก็อาจทำให้เกิดจุดร้อนที่สามารถทำลายชิปได้ เรามักจะใช้แผ่นสะท้อนแสงเพื่อให้ความร้อนส่งไปยังจุดที่ต้องการได้อย่างแม่นยำ
ข้อดีและข้อเสีย
ข้อดีก็คือ เป็นวิธีที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม คุณจะไม่มีสาร VOC จากสารเคมี และยังช่วยลดการปล่อยคาร์บอนไดออกไซด์อีกด้วย นอกจากนี้ ยังมีขนาดเล็กกว่าเตาอบแบบเก่าๆ อีกด้วย คุณเพียงแค่เปลี่ยนเครื่องให้ความร้อนเท่านั้นก็พอ
แต่ก็ไม่ใช่ว่าจะสมบูรณ์แบบเสมอไป แสงอินฟราเรดต้องการมุมมองที่ชัดเจน หากชิปมีรูปร่างแปลกๆ หรือมีรูลึกๆ ความร้อนก็อาจไม่สามารถเข้าถึงทุกมุมได้ คุณจึงต้องปรับตำแหน่งของหลอดไฟ หรือเพิ่มอุปกรณ์ที่ช่วยให้ความร้อนส่งไปยังทุกพื้นผิวได้อย่างเท่าเทียมกัน