หยุดการใช้พลังงานไฟฟ้าเพื่อทำความร้อนให้กับช่องสุญญากาศได้แล้ว… และหันมาใช้พลังงานนั้นเพื่อทำความร้อนให้กับแผ่นวีเซอร์แทน
หากคุณเคยใช้หลอดไอน้ำอินฟราเรดความถี่สูงในช่องสุญญากาศสำหรับการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ คุณคงรู้ดีถึงความยากลำบากที่เกิดขึ้นจากปัญหาความร้อนที่เกิดขึ้นตลอดเวลา
ปัญหาก็คือ หลอดไฟธรรมดาจะปล่อยพลังงานออกมาในทุกทิศทาง 180 องศา ในสภาพสุญญากาศ พลังงานส่วนใหญ่จะไม่ถึงแผ่นวีเซอร์เลย แต่จะไปกระทบกับผนังของช่องสุญญากาศแทน นั่นหมายความว่าคุณกำลังสูญเสียพลังงานไปโดยเปล่าประโยชน์ และผิวนอกของอุปกรณ์ก็จะร้อนจนอาจทำให้คนที่อยู่ใกล้ๆ ได้รับบาดเจ็บได้
วิธีแก้ปัญหาก็คือการใช้หลอดไฟที่สามารถส่งพลังงานไปในทิศทางที่ต้องการได้
แทนที่จะใช้เพียงหลอดควอตซ์ธรรมดา เราจะใช้โครงสร้างที่สามารถสะท้อนพลังงานอินฟราเรดไปยังจุดที่ต้องการได้ นั่นคือการจำกัดลำแสงให้แคบลง
มันเป็นการเปลี่ยนแปลงเล็กๆ น้อยๆ แต่ก็สามารถเปลี่ยนสถานการณ์ได้อย่างมาก คุณจะไม่ต้องพยายามทำความร้อนให้กับอุปกรณ์ทั้งหมดอีกต่อไป แต่จะมุ่งเน้นไปที่จุดที่ต้องการทำความร้อนเท่านั้น
อย่างไรก็ตาม คุณไม่สามารถใช้หลอดไฟธรรมดาได้ เรามักจะใช้หลอดไอน้ำอินฟราเรดความถี่สูงแทน เพราะหลอดเหล่านี้สามารถทำงานได้ดีในสภาพสุญญากาศ และสามารถส่งพลังงานไปยังวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
แต่ก็มีข้อควรระวังอยู่บ้าง… คือต้องควบคุมความหนาแน่นของพลังงานให้ดี เพราะหลอดเหล่านี้จะสร้างจุดร้อนขึ้นมาได้ หากจุดโฟกัสไม่อยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้อง ฉันแนะนำให้ใช้ตัวควบคุม PID ร่วมกับเครื่องวัดอุณหภูมิที่มีความไวสูง หากคุณใช้พลังงานมากเกินไปโดยไม่ปรับจุดโฟกัสให้ถูกต้อง ก็อาจทำให้ขอบของแผ่นวีเซอร์ถูกเผาไหม้ได้
สิ่งที่ดีที่สุดก็คือ เมื่อคุณเปลี่ยนมาใช้วิธีนี้แล้ว คุณก็ไม่จำเป็นต้องพึ่งพาอุปกรณ์ระบายความร้อนขนาดใหญ่อีกต่อไป ผิวนอกของอุปกรณ์ก็จะยังคงเย็นอยู่ และผู้ปฏิบัติงานก็จะไม่ต้องกังวลเรื่องอันตรายจากความร้อนอีกต่อไป นอกจากนี้ คุณยังสามารถเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิตได้ โดยไม่จำเป็นต้องเรียกช่างมาปรับปรุงระบบน้ำเย็นของอุปกรณ์อีกด้วย