Memilih Reflektor yang Tepat untuk Proses Pengeringan Wafer
Saat mengeringkan wafer di pabrik semikonduktor, kita sebenarnya sedang bermain dengan api yang sangat berbahaya. Satu kesalahan kecil saja bisa menyebabkan wafer menjadi bengkok atau terkontaminasi oleh zat kimia berbahaya.
Itulah mengapa kita menggunakan metode pengeringan menggunakan sinar inframerah (IR). Sinar ini langsung mengenai permukaan wafer tanpa perlu menggunakan udara panas atau pelarut berbahaya. Metode ini lebih bersih dan efisien, serta sesuai dengan standar “hijau” yang ingin kita capai dengan mengurangi limbah.
Mengapa Reflektor Sangat Penting
Lampu IR sendiri memancarkan radiasi ke segala arah. Jika lampu tersebut diletakkan begitu saja di dalam kotaknya, maka separuh energinya akan terbuang sia-sia.
Kita mengatasi hal ini dengan menggunakan reflektor berbahan aluminium murni atau berlapis emas. Reflektor ini akan menangkap energi yang terbuang tersebut dan memantulkannya kembali ke wafer. Dengan demikian, intensitas panas yang diterima wafer pun meningkat dua kali lipat. Kami menyesuaikan reflektor ini agar hanya memantulkan sinar inframerah pendek saja, sehingga panasnya hanya mengenai lapisan fotoresist atau bahan pengering, tanpa merusak struktur wafer itu sendiri.
Mengatasi Masalah Panas
Lampu berdaya tinggi menghasilkan panas yang sangat tinggi. Jika reflektor tidak memiliki bentuk parabolik atau elips yang sempurna, maka akan terjadi daerah-daerah yang terlalu panas pada permukaan silikon. Sudut pantulan yang tidak tepat juga akan menyebabkan proses pengeringan yang tidak merata, sehingga wafer menjadi rusak.
Selain itu, ada juga masalah fisika yang perlu diperhatikan. Jika reflektor bengkok akibat panas, titik fokus cahaya akan berubah. Semua hal akan menjadi kacau. Itulah mengapa kita harus membuat reflektor yang tetap mempertahankan bentuknya meski kondisi lingkungan sangat ekstrem.
Kesulitan yang Harus Dihadapi
Bisa saja kita berpikir bahwa semakin tinggi tingkat reflektivitasnya, semakin baik hasilnya. Namun, hal itu tidaklah semudah dibayangkan. Lapisan reflektif yang digunakan sangat rapuh. Jika kita mencoba membersihkannya menggunakan bahan kimia abrasif, lapisan reflektifnya akan hilang. Harus hati-hati dalam membersihkannya. Ikuti protokol pembersihan yang ketat agar permukaan reflektor tetap mulus.
Satu tips lagi: semakin tinggi densitas panasnya, semakin keras pula beban pada sumber daya listrik dan kipas pendingin. Pastikan sistem ventilasi di ruangan tersebut berfungsi dengan baik. Jika kipasnya tidak cukup kuat, maka Anda hanya akan membuat “oven” yang sangat mahal.