Mendapatkan Suhu Wafer yang Tepat (Tanpa Perlu Menebak-Nebak)
Jika Anda ingin membangun “Smart Fab”, Anda pasti menyadari bahwa pengambilan sampel secara manual merupakan proses yang merepotkan. Prosesnya lambat, melelahkan, dan sebenarnya tidak memberikan informasi yang akurat tentang apa yang sebenarnya terjadi di saat itu juga.
Di sinilah peran sensor inframerah berkepresisikan tinggi sangat penting. Sensor ini memungkinkan kita untuk melihat profil suhu wafer berukuran 300 mm dalam hitungan milidetik, tanpa perlu menyentuh permukaan wafer tersebut. Ini merupakan satu-satunya cara untuk mendapatkan kecepatan dan ketepatan seperti itu.
Cara kerjanya
Sensor-ini menangkap radiasi elektromagnetik yang berasal dari permukaan wafer. Alih-alih teknisi harus mencatat data secara manual, data mentah tersebut langsung dikirim ke sistem PLC atau SCADA. Dengan demikian, kita dapat melihat tingkat keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer secara real-time. Jika ada bagian yang terlalu panas, sistem akan segera mengatur ulang suhu pemanggangnya. Tidak perlu lagi berharap semoga hasil produksi tetap baik.
Membuat perangkat keras bekerja dengan baik
Agar sebuah “Smart Fab” benar-benar efektif, perangkat-perangkatnya perlu saling berkomunikasi. Kita memastikan bahwa sistem IR menggunakan sinyal standar, biasanya 4-20mA atau protokol digital, sehingga perangkat tersebut dapat terhubung langsung ke sistem data yang sudah ada. Dengan demikian, kita dapat menggunakan data tersebut untuk mengontrol mesin secara langsung.
Kenyataannya
Sejujurnya, sensor inframerah berresolusi tinggi bukanlah “sihir” yang bisa digunakan untuk mengontrol setiap alat secara otomatis. Sensor ini membutuhkan pandangan yang jelas ke arah permukaan wafer. Jika ada uap atau kotoran di permukaan kaca, maka bacaan suhu akan menjadi tidak akurat. Hal ini tentu merepotkan, tetapi itulah hukum fisika. Anda perlu merencanakan hal ini sejak awal. Entah itu dengan menjadwalkan pemeliharaan rutin pada jalur optik atau memasang sistem pembersih agar lensa tetap bersih. Karena jika kacanya kotor, data yang diperoleh pun tidak akan akurat. Memang butuh usaha tambahan, tetapi itulah harga yang harus dibayar demi mendapatkan ketepatan yang dibutuhkan dalam proses pembuatan semikonduktor.