क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में साफ रखना
जब आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम करते हैं, तो हीटिंग का उद्देश्य सिर्फ चीजों को गर्म रखना ही नहीं है… बल्कि यह तो कणों से लड़ने का एक तरीका है।
सेमीकंडक्टर निर्माण में ऐसी स्थितियाँ बहुत ही खतरनाक होती हैं… थोड़ा सा भी धूल या धातु का टुकड़ा वेफर को नष्ट कर सकता है। ऐसी स्थितियों से बचने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज एवं टेफ्लॉन-इंसुलेटेड वायरों का उपयोग करते हैं।
क्वार्ट्ज का उपयोग
हम अपने इन्फ्रारेड लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह कोई भी गैस नहीं छोड़ता।
सामान्य काँच या सस्ते काँचों में गर्म होने पर गैसें निकलने लगती हैं… जो क्लीनरूम में बहुत ही खतरनाक है। हमारा सिंथेटिक क्वार्ट्ज ऐसी स्थितियों में भी ठोस ही रहता है… और इससे कोई भी सूक्ष्म कण वातावरण में नहीं आता।
वायरों का महत्व
हीटिंग तत्व तो केवल आधा ही है… वास्तव में वायर ही सब कुछ तय करते हैं।
हम ऐसे हीटरों में टेफ्लॉन-लेपित वायरों का उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसे वायर गर्मी के कारण धूम्रपान नहीं करते, न ही नष्ट होते हैं। यदि आप सामान्य PVC वायरों का उपयोग करेंगे, तो वे पिघल जाएँगे एवं वायु में VOC गैसें छोड़ेंगे… जो बहुत ही खतरनाक है।
टेफ्लॉन वायर स्थिर ही रहते हैं… इसके अलावा, हम वायरों को बहुत ही सावधानी से जोड़ते हैं… ताकि स्थापना के दौरान कुछ भी नष्ट न हो।
कुछ नुकसान…
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज बोरोसिलिकेट की तुलना में अधिक कमजोर होता है… इसलिए आपको बिना रूई वाले दस्तानों का ही उपयोग करना होगा… वरना समस्याएँ हो सकती हैं।
टेफ्लॉन वायर तो गर्मी से बचने में मदद करते हैं… लेकिन इन्हें मोड़ने में भी सावधानी आवश्यक है… अन्यथा इनकी इंसुलेशन प्रणाली नष्ट हो सकती है।
यह वास्तव में कैसे काम करता है?
ये लैंप सटीक, छोटी तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड ऊर्जा उत्पन्न करते हैं।
इसका फायदा यह है कि आप सीधे ही सब्सट्रेट को गर्म कर रहे हैं… आप हवा या चैंबर की दीवारों को गर्म करने में ऊर्जा बर्बाद नहीं कर रहे हैं। इससे HVAC सिस्टम पर अतिरिक्त बोझ नहीं पड़ता… एवं कणों की संख्या भी नियंत्रित रहती है।
यह बहुत ही तेज़ है… एवं यह छोटे सेमीकंडक्टर उपकरणों में भी आसानी से फिट हो जाता है… बिना कमरे का आधा हिस्सा घेरे।