लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान आधे डिग्री का भी बदलाव, क्रिटिकल डाइमेंशन में बदलाव पैदा कर सकता है; इसके कारण बहुत सारे वेफर बर्बाद हो जाते हैं। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में, हीटर को ऐसा तापमान प्रदान करना होता है जो निरंतर बना रहे, एवं कोई कण भी न निकले। हमने अपने क्लीनरूम ओवनों में इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग किया है; ताकि ये ही इस प्रक्रिया का आधार बन सकें, न कि कोई अतिरिक्त उपकरण।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करते हैं जो तेज़ गति से कार्य करते हैं, एवं जिनका स्पेक्ट्रल नियंत्रण भी बेहतरीन है। इससे वेफर एवं कैरियर पर सीधे ही ऊष्मा पड़ती है – चैंबर की दीवारों पर नहीं। इससे बेकिंग क्षेत्र में वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; लोड के दौरान यह स्थिरता ±0.2°C से भी बेहतर होती है। एक बार चलने के बाद तापमान में होने वाला बदलाव 0.3°C से भी कम होता है; इससे वेफरों की गुणवत्ता स्थिर रहती है।
हीटर पैकेज क्यों उपयुक्त है?
यह हीटर पैकेज क्लीनरूम के लिए उपयुक्त है – इसमें कम गैस निकलने वाली सामग्री है, जोड़ों पर सीलिंग है, एवं बाहरी सतह को साफ करने पर भी कोई कण नहीं जमते। इसका आउटपुट सॉलिड-स्टेट रिले द्वारा नियंत्रित होता है, एवं प्रत्येक यूनिट में कैलिब्रेशन करने हेतु आवश्यक जानकारी भी उपलब्ध है।
उत्पादन में यह क्यों उपयोगी है?
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में तापमान नियंत्रण बहुत महत्वपूर्ण है। हमारे इन्फ्रारेड हीटर वेफर को तेज़ी से गर्म करते हैं, एवं उसे उचित तापमान पर ही रखते हैं – इससे बेकिंग प्रक्रिया में समय बचता है, एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता भी बनी रहती है। इस डिज़ाइन के कारण कणों का उत्पादन लगभग शून्य रहता है; इससे उत्पादन लागत में कोई वृद्धि नहीं होती। ऊष्मा सीधे ही वेफर पर पड़ती है – आसपास की हवा में नहीं; इससे ऊर्जा की खपत कम होती है। वास्तविक उत्पादन में, यह सिस्टम 24/7 कार्य करता है, एवं तापमान संबंधी समस्याओं के कारण कोई बंद होने की स्थिति नहीं आती। रखरखाव भी अनुमानित ही होता है।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
इंस्टॉलेशन के दौरान ओवन कंट्रोलर का इंटरफ़ेस मेल खाना आवश्यक है; साथ ही वोल्टेज एवं एम्पीयर की जाँच भी आवश्यक है। PID लूप को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। ये हीटर लाइन वोल्टेज की स्थिरता के प्रति संवेदनशील हैं – इसलिए वोल्टेज को नियंत्रित रखना आवश्यक है, ताकि तापमान में कोई उतार-चढ़ाव न हो। तत्वों की जाँच ऑपरेटिंग घंटों के आधार पर ही की जानी चाहिए, ताकि तापमान स्थिर रहे।