בחדר הייצור, כמו שאתם יודעים, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של החומרים המשמשים בתהליך הייצור – שינויים שעשויים להיות בסדר גודל של ננומטרים. שינויים כאלה עלולים להרוס שעות שלעבדו בתהליך הליתוגרפיה. מחממים בגלי אינפרא-אדום באורך גל בינוני נועדו למנוע שינויים כאלה.
מה באמת חשוב מבחינה טכנית מחממים אלו מעבירים אנרגיה ישירות לתוך הפוטורזיסט והחומרים האחרים שמשמשים בתהליך – באופן מהיר ומבוקר. אנו שומרים על אחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C בכל אזור החימום, ויציבות הטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.2°C גם בתנאי עומס. רמת הפליטה של החום מותאמת לסיליקון ולחומרים האחרים המשמשים בתהליך, כך שלא יהיו בעיות במהלך החימום.
גוף המחמם מתאים לשימוש בחדרי ניקיון, והוא מותאם לסטנדרטים ISO Class 1–100. המשטחים והחוסמים שלו מותאמים כך שלא ייווצרו חלקיקים במהלך החימום. האחידות של הטמפרטורה נשמרת בכל פעם שמבצעים את החימום.
למה זה חשוב בתהליך עיבוד הפוטורזיסט החימום הרך נועד להוציא את הממסים מהחומרים ולשלוט במתח שנוצר בהם. החימום החזק נועד לחזק את האחיזה של החומרים זה בזה ולהגדיל את עמידותם לתהליכי חיתוך. באמצעות מחממים בגלי אינפרא-אדום באורך גל בינוני, שלבים אלה נשמרים בתוך טווח טמפרטורות צר, כך שהחומרים נשארים אחידים ולא ייוו פגמים כתוצאה מהטמפרטורה.
זה מביא לפחות תיקונים, לשיעור הצלחה גבוה יותר בפעם הראשונה, ולשליטה טובה יותר בממדי החומרים. החימום מותאם בצורה מדויקת, כך שהשימוש באנרגיה יורד, והאמינות של המערכת נשמרת 24/7, ללא הפסקות לא צפויות.
מה צריך לעשות כדי שההתקנה תהיה נכונה ההתקנה דורשת אליינמנטציה אופטית מדויקת ותנאי חיבור נכונים – המתח והחיבורים צריכים להתאים למכשיר הראשי. מחממים בגלי אינפרא-אדום באורך גל בינוני מביאים לאחידות מעולה, אך יש להתאים את המחמם לגודל הוואפר ולצורתו.
יש לבצע תקופת ניסיון קצרה כדי להתאים את רמת הפליטה של החום לחומרים המשמשים בתהליך. לאחר מכן, התהליך נשאר יציב, והתחזוקה הופכת למינימלית.