בחדר הייצור, טווחי הטעות בבדיקות באמצעות SEM נהרסים מיד כששלב הדגימה מתחיל לנוע. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של החומרים הפוטורזיסטיביים – או במהלך הצילום הקריטי – גורם לשינוי ברוחב הקווים, לשינוי בניגודיות, וכתוצאה מכך יש צורך בבדיקות נוספות. יש צורך בחימום אמין – חימום שניתן לצפות אותו, נקי וחוזר על עצמו.
מה חשוב מבחינה טכנית? יצרנו את החיממן של SEM כך שיפעל באופן מבוקר מבחינה תרמית. החיממן משתמש בקרינת אינפראאדום באורך גל קצר, כך שהוא מגיב במהירות, עם מסה תרמית נמוכה, ומגיע למצב הרצוי תוך שניות בודדות. באזור הפעיל, האחידות בטמפרטורה נשארת ברמה של ±0.1°C, כך שהטמפרטורה אינה הגורם המשפיע על דיוק התהליך.
גוף החיממן עשוי מקוורץ ומחומרים קרמיים באיכות גבוהה – חומרים שמתאימים לסביבות נקיות מסוג Class 1–100. החיממן מיועד לייצור אפס חלקיקים. הדיוק בתפוקה נשאר ברמה של ±0.5%, והחיממן עומד בסטנדרטים הבינלאומיים לציוד שבבי.
למה החיממן עובד טוב בפועל? החיממן נועד לשימוש בשלבי SEM שבהם המגבלות התרמיות קפדניות, וזיהום אינו אפשרי. החיממן מאפשר שליטה טובה יותר בתהליך החימום, מה שמפחית את השינויים בטופס הדגימה. התוצאה היא פחות עבודה חוזרת, פחות פסולת, ומחזורי בדיקה יציבים.
צריכת האנרגיה גם היא סבירה – המרה יעילה של אנרגיה והפסדים מינימליים במצב של המתנה. החומרים מתנגדים להשתחררות גזים בתנאי ואקום, כך שהסביבה בתוך התא נשארת נקייה. בשטח, ראינו יחידות שפועלות למעלה מ-5,000 שעות, עם ירידה בתפוקה של פחות מ-5%, וכך ניתן להמשיך את הפעולה 24/7 ללא הפסקות לא מתוכננות.
כמה עובדות מהשטח: החיממן הוא תחליף ישיר ומאומת למודולים התרמיים הסטנדרטיים של SEM, אך טווחי ההתאמה הם צרים מאוד. יש לבצע בדיקת כיול לאחר ההתקנה, כדי לוודא שהחיממן עובד בהתאם לדרישות ה-SEM שלכם.
יש לבדוק גם את לחץ האוויר בתא ואת יכולת הקירור. טמפרטורה יציבה תלויה ביכולת להסיר חום באופן חוזר. אם ההגדרות נכונות, השליטה התרמית תהיה טובה, והתהליך יעבוד באופן אמין.