جلوگیری از آسیب به ویفرها: نگهداری ویفرها در حالت تمیز، هنگام استفاده از لامپهای مادون قرمز با توان بالا
بیایید صادق باشیم: وقتی که یک لامپ مادون قرمز در کارخانههای تولید نیمههادی خراب میشود، وضعیت واقعاً وحشتناک میشود. مشکل فقط متوقف شدن دستگاه نیست؛ بلکه آشفتگی ناشی از تکههای شیشه و تنگستن مذاب نیز وجود دارد. یک لامپ خراب میتواند کل محموله ویفرها را در عرض چند ثانیه از بین ببرد. این قطعاً روش مناسبی برای گذراندن روز سهشنبه نیست.
مقابله با گرما
ما لامپهایی با بازتابندههای طلایی ساختهایم که بتوانند در برابر گرمای شدید ناشی از گرم شدن ویفرها مقاومت کنند. اکثر لامپها در نقاطی که الکترودها با کوارتز در تماس هستند، خراب میشوند. برای جلوگیری از این موضوع، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده در برابر گرمای شدید مقاومت بیشتری دارد.
بازتابندههای طلایی نیز فقط برای زیبایی نیستند؛ آنها تابش مادون قرمز را دقیقاً به جای مناسب هدایت میکنند، در نتیجه گرمای کمتری به بدنه لامپ منتقل میشود. وقتی بدنه لامپ سردتر باشد، شوک حرارتی نیز کمتر اتفاق میافتد.
جلوگیری از ورود ذرات ناخواسته
هدف این است که ذرات ناخواسته از داخل لامپ خارج شوند. ما از روشهای خاصی برای جلوگیری از نشت گاز استفاده میکنیم تا از خرابی لامپ جلوگیری شود. اما حوادث ممکن است رخ دهد؛ اگر لامپ خراب شد، باید ذرات ناخواسته در داخل لامپ باقی بمانند. به همین دلیل، همیشه پیشنهاد میکنیم از سپرهای محافظ کوارتزی استفاده کنید؛ این سپرها مانند یک دیوار فیزیکی بین عنصر گرمایشی و ویفرهای گرانقیمت عمل میکنند.
تعادلهای واقعی
نکته مهم این است که اگر بخواهید تابش مادون قرمز با تراکم بالا داشته باشید، نیاز به توان بالایی دارید. اما این امر باعث میشود که منابع تغذیه و سیستمهای خنککننده لامپ تحت فشار قرار بگیرند. اگر هوای مورد استفاده برای خنککردن لامپ کافی نباشد، انتهای لامپها خیلی سریع خراب خواهد شد. لطفاً از سیمهای با تحمل دمای بالا استفاده کنید؛ هیچ کس دوست ندارد با مشکلات ناشی از ذوب شدن عایقها روبرو شود.